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真空科学与技术学报杂志

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主管单位:中国科学技术协会  主办单位:中国真空学会

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真空科学与技术学报 2004年第01期杂志 文档列表

新型彩色交流等离子体显示器的研究第1-4页
关键词: 彩色交流等离子体显示器;  pdp;  分辨率;  图像质量;  气体放电原理;  
α-A12O3基片(0001)表面及其对ZnO吸附位置研究第5-10页
关键词: 氧化锌薄膜;  局域密度近似平面波超软赝势法;  吸附生长;  半导体;  
盘型分子泵3D过渡流特性第11-15页
关键词: 盘型分子泵;  过渡流特性;  抽气特性;  直接模拟蒙特卡罗法;  dsmc;  麦氏分布;  
类单晶氧化锌纳米棒的制备与表征第16-18页
关键词: 类单晶氧化锌纳米棒;  制备工艺;  晶体结构;  光致发光特性;  生长机理;  半导体;  
低噪声MCP的结构研究第19-21页
关键词: mcp;  光子散射;  电子散射;  微通道板;  噪声控制;  数学模型;  像增强器;  
低能电子投射全息的计算机模拟和数值重现研究第22-26页
关键词: 低能电子投射全息图;  计算机模拟;  微观结构;  分辨率;  材料设计;  
多阳极微通道阵列(MAMA)探测器及其应用第27-32页
关键词: 多阳极微通道阵列探测器;  mama探测器;  光子;  光电倍增管;  结构设计;  
新型微波ECR-PECVD装置的研制第33-36页
关键词: 电磁线圈;  永磁体;  微波转换;  计算机仿真;  微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积;  
ICP等离子体源天线设计第37-39页
关键词: icp等离子体源;  天线设计;  感应耦合等离子体;  电场强度;  
纯铜双层辉光离子渗镍研究第40-42页
关键词: 纯铜双层辉光离子渗镍;  耐蚀性;  传导性;  源极溅射率;  表面金属势;  表面合金化;  
基体负的低偏压对氟化非晶态碳膜结构及性能的影响第43-46页
关键词: 氟化非晶态碳膜;  基体偏压;  拉曼光谱;  纳米压痕;  疏水性;  躺滴法;  
丝网印刷制备碳纳米管场发射阴极的研究第47-50页
关键词: 丝网印刷;  碳纳米管;  场发射阴极;  制备工艺;  cnt;  cvd;  化学气相沉积;  
基于故障树的RH-KTB大型真空系统智能故障诊断第51-54页
关键词: 故障树;  真空系统;  智能故障诊断;  最小割集;  炉外精炼;  
MgO载体化学气相沉积法制备碳纳米管的影响因素第55-58页
关键词: 氧化镁;  化学气相沉积;  cvd;  碳纳米管;  cnts;  制备工艺;  
HT-7中性束注入装置真空监控系统的设计第59-62页
关键词: 中性束注入装置;  真空监控系统;  系统设计;  超导托卡马克装置;  数据库;