真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

真空科学与技术学报 2004年第05期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志学术论文

沉积温度对ZrO2薄膜相结构和透射率的影响第321-323页

关键词: 沉积温度；  zro2薄膜；  透射率；  薄膜厚度；  单晶硅片；  相结构；  反应磁控溅射；  非晶相；  晶粒尺寸；  x射线衍射仪；  

沉积在液体基底表面Al薄膜中具有准周期特征的带状结构第324-328页

关键词: 薄膜；  液体；  原子；  基底；  团簇；  表面；  凝聚；  有序排列；  沉积；  宽度；  

TiO2复合薄膜光生亲水及防结雾性能研究第329-333页

关键词: tio2薄膜；  亲水性；  复合薄膜；  接触角；  磁控溅射技术；  发现；  中频；  薄膜材料；  性能研究；  

微波-ECR等离子体辅助沉积Zr-N薄膜结构和性能研究第334-338页

关键词: 薄膜结构；  等离子体；  俄歇电子谱；  溅射沉积；  正交；  非晶态结构；  xrd；  薄膜硬度；  钢基体；  

PDP中Mg1-xCaxO复合介质保护膜结晶取向研究第339-342页

关键词: 基底温度；  x射线衍射分析；  结晶取向；  复合介质；  电子束蒸发沉积；  晶面；  择优取向；  pdp；  保护膜；  沉积速率；  

碳素钢强流脉冲电子束处理后的表面火山口状凹坑研究第343-346页

关键词: 强流脉冲电子束；  碳素钢；  凹坑；  表面；  淬火；  位错密度；  分布密度；  量比；  次数；  

Al、N共掺杂实现ZnO的P型转变及其掺杂机理探讨第347-349页

关键词: zno薄膜；  共掺杂；  si衬底；  迁移率；  载流子浓度；  直流反应磁控溅射；  衬底温度；  xps；  原子；  图谱；  

NiO／CoFe双层膜的交换机制研究第350-354页

关键词: 交换耦合场；  双层膜；  反铁磁；  铁磁层；  自旋；  正确；  衬底材料；  fm；  交换机制；  厚度；  

中性束注入器Tank充气特性对离子源放电的影响第355-358页

关键词: 中性束注入器；  托卡马克装置；  离子源；  中性粒子；  充气；  等离子体；  放电；  压电；  电弧电流；  幅值；  

真空科学与技术学报杂志技术交流

真空蒸镀聚乙烯醇薄膜第359-362页

关键词: 聚乙烯醇薄膜；  真空蒸镀；  衬底温度；  真空蒸发沉积；  均匀分布；  薄膜沉积；  红外光谱分析；  表面；  sem；  化学结构；  

脉冲真空弧源沉积类金刚石薄膜耐磨特性研究第363-366页

关键词: dlc薄膜；  类金刚石薄膜；  原子；  脉冲；  拉曼光谱；  真空；  薄膜硬度；  基体；  耐磨机理；  

溅射方位对IBS沉积TbDy-Fe薄膜性质的影响第367-371页

关键词: 膜层；  平整；  离子束溅射；  铸造合金；  靶材；  组织；  非晶态；  薄膜；  基片；  性质；  

金属等离子体浸没离子注入与沉积技术合成类金刚石薄膜研究第372-376页

关键词: 等离子体浸没离子注入；  沉积技术；  金属；  显微硬度；  维氏硬度；  钢基体；  表面；  类金刚石薄膜；  合成；  raman光谱；  

反提拉Sol-Gel法制备PZT薄膜及热处理工艺对薄膜性能结构影响的研究第377-380页

关键词: 薄膜性能；  pzt铁电薄膜；  退火气氛；  硝酸锆；  基片；  sio2；  制备；  钛酸丁酯；  退火温度；  

真空退火对a-C：F：H薄膜的结构与光学带隙的影响第381-384页

关键词: 光学带隙；  键结构；  化学键；  薄膜光学；  平坦；  非晶碳；  真空退火；  cf4；  rf；