真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

真空科学与技术学报 2005年第04期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志学术论文

接地电极转动对电极不对称介质阻挡放电的影响第241-244页

关键词: 介质阻挡放电；  放电电流；  辉光放电；  表面放电；  

硅基LiNbO3薄膜的光波导性能研究第245-248页

关键词: 脉冲激光沉积；  linbo3薄膜；  光波导；  硅衬底；  

金属基底上定向碳纳米管阵列的生长及其场发射性质第249-251页

关键词: 碳纳米管；  化学气相沉积法；  金属基底；  场发射；  

纳米SiC表面接枝修饰的XPS研究第252-255页

关键词: 纳米粒子；  表面修饰；  x射线光电子能谱；  碳化硅；  

脉冲激光沉积法室温下ZnO薄膜的制备与表征第256-258页

关键词: zno薄膜；  c轴取向；  室温；  脉冲激光沉积；  

磁控溅射制备纳米TiO2薄膜光催化降解苯酚的研究第259-262页

关键词: 纳米tio2薄膜；  射频磁控溅射；  退火；  光催化降解；  schottky势垒；  

TiN／Si3N4纳米多层膜的生长结构与超硬效应第263-267页

关键词: si3n4晶化；  外延生长；  超硬效应；  

试片取向与IBS沉积TbDy—Fe膜应力及磁伸性能第268-270页

关键词: 金属材料；  离子束溅射；  应力；  磁伸性能；  

真空科学与技术学报杂志技术交流

等离子体辉光溅射反应复合渗镀合成TiN的研究第271-274页

关键词: 辉光放电；  尖端放电；  空心阴极效应；  氮化钛；  扩散层；  沉积；  

高速微晶硅材料的制备及其特性分析第275-277页

关键词: 微晶硅薄膜；  拉曼光谱；  光发射谱；  

真空热蒸发酞菁铜（CuPc）薄膜的结构及光学、电学性能研究第278-282页

关键词: 薄膜；  结构；  性能；  真空蒸发；  

稀土Nd掺杂纳米SnO2薄膜特性第283-286页

关键词: 真空蒸发；  nd掺杂；  纳米；  sno2薄膜；  

类金刚石薄膜光学特性的椭偏法研究第287-289页

关键词: 类金刚石薄膜；  椭偏仪；  光学常数；  

热蒸发法制备SnS薄膜及其表征第290-292页

关键词: sns薄膜；  光电性能；  热蒸发法；  

大气压等离子体制备类二氧化硅薄膜的实验研究第293-296页

关键词: 大气压等离子体；  薄膜沉积；