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真空科学与技术学报 2006年第03期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志学术论文

基于p~+-Si与n-ZnO纳米线的p-n异质结的制备及其性质研究第163-167页

关键词: 氧化锌；  纳米线；  异质结；  理想因子；  

ICP—CVD制备高质量疏水性碳氟聚合物薄膜的研究第168-171页

关键词: 碳氟聚合物薄膜；  疏水性；  感应耦合等离子体化学气相淀积；  化学键结构；  

GaAs光电阴极制备过程中多信息量测试技术研究第172-175页

关键词: gaas光电阴极；  多信息量；  压强；  热脱附；  光电流；  现场总线；  

脉冲偏压下电弧离子镀等离子体负载的等效电路模型及其定量表征第176-180页

关键词: 电弧离子镀等离子体负载；  脉冲偏压；  电路模型；  定量表征；  鞘层；  

沉积角度对MgO介质保护膜性能的影响第181-184页

关键词: 等离子体显示器；  保护膜；  沉积角度；  着火电压；  结晶取向；  

射频等离子体中绝缘基片上自偏压的研究第185-189页

关键词: 射频等离子体；  绝缘基片；  自偏压；  电极结构；  

掺氮二氧化钛薄膜的常压化学气相沉积及其结构性能研究第190-194页

关键词: 常压化学气相沉积；  掺氮tio2薄膜；  光催化性；  亲水性；  

退火温度与ZAO透明导电薄膜晶体结构及特性关系的研究第195-199页

关键词: 射频磁控溅射；  zao薄膜；  结构；  退火温度；  

反应溅射Zr-Si-N复合膜的微结构与力学性能第200-203页

关键词: 反应溅射；  微结构；  力学性能；  

H2对彩色AC—PDP中Ne—Xe混合气体放电性能的影响第204-206页

关键词: h2；  着火电压；  维持电压；  放电电流；  

超长单晶硅纳米丝的化学气相沉积法制备第207-209页

关键词: 化学气相沉积法；  纳米硅丝；  

交换耦合双层膜PtMn／Co的微观结构和磁性第210-213页

关键词: 交换偏置场；  热处理工艺；  相转变；  磁性能；  

新型表面波等离子体源的诊断及不同工艺条件下的等离子体特性第214-218页

关键词: 表面波等离子体；  工艺参数；  电子密度；  类金刚石薄膜；  

真空科学与技术学报杂志技术交流

真空热处理对CoFe薄膜结构及电磁特性的影响第219-222页

关键词: cofe薄膜；  电子束蒸发；  各向异性磁电阻；  退火；  

空心阴极N^2＋等离子体放电电子温度的研究第223-227页

关键词: 电子温度；  等离子体；  空心阴极效应；  辉光放电；  光谱分析；