真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

真空科学与技术学报 2006年第04期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志学术论文

a-SiCx：Hp-i结的电致发光第259-262页

关键词: pecvd；  电致发光；  

原子氧／紫外综合环境模拟实验与防护技术第263-267页

关键词: 原子氧；  紫外；  综合环境；  模拟试验；  防护；  

铜薄膜在100℃～400℃下氧化行为的微观表征第268-271页

关键词: 铜薄膜；  氧化；  原子力显微镜；  微观表征；  

CRT显示器件中超大角度偏转的理论研究第272-276页

关键词: 偏转线圈；  偏转角；  枕形失真；  光栅畸变；  会聚误差；  

用于室温红外探测器热敏材料的PECVD掺硼a-Si薄膜的研究第277-281页

关键词: 室温红外探测器；  pecvd；  热敏材料；  硼掺杂；  电阻温度系数；  

GeSb2Te4薄膜表面形貌及力学性能的分形表征第282-285页

关键词: gesb2te4薄膜；  分形；  表面形貌；  力学性能；  

平面行星夹具均匀性修正挡板设计方法研究第286-289页

关键词: 光学薄膜；  平面行星夹具；  修正挡板设计；  停留概率修正法；  

柱弧离子镀制备Ti／TiN／Ti（N，C）／TiC黑色硬质膜第290-294页

关键词: 黑色硬质膜；  柱弧离子镀；  tic；  多层膜；  

直圆管道中分子流态下“位置束流效应”的Monte Carlo法模拟第295-298页

关键词: 分子气体动力学；  位置束流效应；  monte；  carlo法模拟；  分子流态；  直圆管道；  

TiN薄膜生长的无格点Kinetic Monte Carlo模拟第299-302页

关键词: 无格点；  kmc；  potential；  energy；  surface；  dimer方法；  tin；  

等离子体浸没离子注入的二维元胞粒子法计算机模拟与剂量分布研究第303-307页

关键词: 等离子体浸没离子注入；  二维元胞粒子模拟；  平面靶；  剂量分布；  浓度深度分布；  

真空科学与技术学报杂志综述评论

AlN缓冲层对提高硅基GaN薄膜质量的作用机理及其研究进展第308-312页

关键词: si基gan；  aln；  综述；  应力；  位错；  

真空科学与技术学报杂志技术交流

用于高质量InGaN／GaN MQWs制备的MOCVD配气系统第313-316页

关键词: 金属有机化学气相淀积；  多量子阱；  配气系统；  

离子源辅助电子束沉积凹印版耐磨层第317-320页

关键词: 离子源辅助沉积；  过渡层；  离子轰击；  附着牢度；  

激光预处理对增透膜阈值的影响第321-325页

关键词: 激光预处理；  增透膜；  激光损伤；