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真空科学与技术学报杂志

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主管单位:中国科学技术协会  主办单位:中国真空学会

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真空科学与技术学报 2006年第06期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志学术论文
各种结构等离子体显示屏放电过程的研究第429-434页
关键词: 表面放电pdp;  对向放电pdp;  放电过程;  
强流微束斑电子束系统的研究和设计计算第435-440页
关键词: 强流电子束;  微束斑;  电流密度分布的演化;  侧极靴磁透镜;  电磁复合聚焦;  
脉冲偏压电弧离子镀CrAlN薄膜研究第441-445页
关键词: 电弧离子镀;  脉冲偏压;  craln薄膜;  高温抗氧化;  
PLD生长的ZnO薄膜的微结构及其发光特性研究第446-450页
关键词: 氧化锌;  脉冲激光淀积;  x射线光电子能谱;  广延x射线吸收精细结构;  光致发光;  
分子动力学模拟Gd原子在Cu低密勒表面的扩散过程第451-454页
关键词: 分子动力学;  表面扩散;  跳跃机制;  交换机制;  扩散势垒;  
真空平板玻璃支撑应力实验研究第455-458页
关键词: 真空平板玻璃;  支撑;  应力场;  使用寿命;  
真空紫外~X射线反射膜研究现状第459-468页
关键词: 真空紫外;  x射线;  反射膜;  反射镜;  反射率;  复合膜;  
真空科学与技术学报杂志综述评论
冷冻干燥技术在材料制备领域的应用研究进展第469-474页
关键词: 冷冻干燥;  真空;  综述;  材料制备;  
CVD金刚石膜紫外光探测器第475-481页
关键词: 金刚石膜;  紫外光;  探测器;  性能;  
真空科学与技术学报杂志技术交流
射频等离子体聚合SiOx薄膜的研究第482-486页
关键词: 水蒸汽阻隔层;  等离子体增强化学气相沉积;  siox薄膜;  
ZnO纳米线原位生长的ESEM方法第487-490页
关键词: zno纳米线;  环境扫描电镜;  气体微注入;  
过渡层对含氢非晶碳膜生长的影响第491-493页
关键词: 含氢非晶碳膜;  过渡层;  膜基结合力;  
离子束溅射La0.5Sr0.5CoO3-δ薄膜的XRD和XPS研究第494-499页
关键词: 离子束溅射;  xrd谱;  xps谱;  
4H-SiC在Cl2+Ar混合气体中的ICP刻蚀工艺研究第500-503页
关键词: 碳化硅;  刻蚀;  感应耦合等离子体;  刻蚀速率;  
ZBO(ZnO:B)靶材烧结机理与特征的研究第504-507页
关键词: 常压烧结;  zbo;  sem;  xrd;