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真空科学与技术学报杂志

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真空科学与技术学报 2006年第Z1期杂志 文档列表

掺钯纳米WO3薄膜气致变色窗研究第1-5页
关键词: 纳米薄膜;  气致变色窗;  wo3;  
多层薄膜的热应力研究第6-8页
关键词: 薄膜应力;  多层薄膜;  应力模型;  
晶体结构对Er/Yb共掺ZnO薄膜光致荧光特性的影响第9-13页
关键词: 晶体结构;  光致荧光;  
一维纳米结构氧化锌材料的气相沉积制备及生长特性研究第14-19页
关键词: 氧化锌;  纳米线;  气相制备;  vls生长机制;  
微扰和标定技术测量薄膜微波介电常数第20-22页
关键词: 介质薄膜;  介电常数;  测量;  谐振腔;  微扰;  
调制结构对TiN/ZrN纳米多层膜的表面形貌、生长行为及力学性能的影响第23-27页
关键词: 表面形貌;  生长行为;  力学性能;  
强流脉冲离子束模型及辐照靶材能量沉积的模拟研究第28-31页
关键词: 强流脉冲离子束;  数值研究;  能量沉积;  入射角度;  
硒化温度对CuInSe2薄膜性能的影响第32-35页
关键词: cuinse2;  薄膜;  太阳能电池;  固态源硒化;  磁控溅射;  硒化温度;  
前驱膜中Ga含量对CIGS吸收层性能的影响第36-39页
关键词: 太阳能电池;  磁控溅射;  前驱膜;  硒化;  
多靶连续卷绕镀膜机溅射室布气均匀性研究第40-43页
关键词: 磁控溅射;  质量流量;  流导;  抽速;  分子流;  粘滞流;  
NiTi合金生物医用材料表面镀类金刚石薄膜的性能研究第44-49页
关键词: niti合金;  类金刚石薄膜;  电弧离子镀;  
单结GaAs量子阱太阳能电池第50-52页
关键词: 量子阱;  太阳电池;  金属有机化学气相沉积;  
Cu(In,Ga)3Se5薄膜的结构及其缺陷研究第53-56页
关键词: 有序缺陷化合物;  xrd;  四方结构扭曲;  
c-BN薄膜的生长过程和可重复性的研究第57-60页
关键词: 立方氮化硼;  可重复性;  生长过程;  射频溅射;  
n-BN/p-Si薄膜异质结的I-V特性第61-63页
关键词: 伏安特性;  离子注入;  退火温度;