真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

真空科学与技术学报 2007年第01期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志学术论文

上海EBIT装置微量气体注入系统的研制第1-4页

关键词: 电子束离子阱；  微量气体注入；  几何光学模型；  注气效率；  分子密度；  

Si（111）衬底上3C-SiC的固源MBE异质外延生长第5-9页

关键词: 碳化硅；  碳化；  固源分子束外延；  反射高能电子衍射；  

螺旋线行波管的粒子模拟研究第10-15页

关键词: 粒子模拟；  螺旋线行波管；  非线性；  

X波段40W高效率空间行波管螺旋慢波系统的模拟优化第16-19页

关键词: 空间行波管；  高效率；  慢波系统；  互作用效率；  

微型复合溅射离子泵的设计研究第20-24页

关键词: 真空器件；  溅射离子泵；  非蒸散型吸气剂；  

等离子体低温刻蚀单晶硅高深宽比结构第25-30页

关键词: 低温刻蚀；  微机电系统；  深宽比；  刻蚀滞后；  

氮等离子体浸没离子注入技术改善轴承钢滚动接触疲劳寿命和机械性能的研究第31-36页

关键词: 氮等离子体浸没离子注入；  滚动接触疲劳寿命；  摩擦磨损行为；  机械性能；  轴承钢；  

真空科学与技术学报杂志技术交流

真空冷冻干燥法制备银纳米粉体的实验研究第37-41页

关键词: 纳米粉体；  真空冷冻干燥；  前驱体；  银；  冷冻方式；  

不同基底对掺镧钛酸铅铁电薄膜结晶性能的影响第42-45页

关键词: 基底；  掺镧钛酸铅；  铁电薄膜；  制备；  

单头等螺距梯形齿螺杆转子型线的干涉问题研究第46-49页

关键词: 双螺杆真空泵；  转子型线；  齿型干涉；  内凹齿面；  

微波传输系统真空法兰密封结构设计特点第50-53页

关键词: 微波传输；  真空波导法兰；  密封结构；  电接触；  

液晶阵列工艺中金属钼的干法刻蚀研究第54-57页

关键词: 钼薄膜晶体管反应离子刻蚀；  

一种反磁控冷阴极真空规的脉冲操作模式第58-62页

关键词: 真空计；  反磁控冷阴极真空规；  脉冲放电真空测量；  脉冲高压；  恒流放电真空测量；  

铜铟硫薄膜的固态硫化法制备及其性能研究第63-66页

关键词: 太阳能电池；  cuins2薄膜；  固态源蒸发硫化；  硫源温度；  

滑阀真空泵振动平衡的优化设计研究第67-71页

关键词: 滑阀真空泵；  不平衡惯性力；  优化设计；  动态仿真；