真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

真空科学与技术学报 2007年第03期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志学术论文

含Ti—Al阻挡层的硅基Nb掺杂Pb（Zr，Ti）O3铁电电容器的研究第177-180页

关键词: 阻挡层；  铁电存储器；  异质结；  

不同技术制备DLC膜的激光损伤特性研究第181-184页

高温合金真空电磁铸造补缩数学模型的建立与应用第185-189页

关键词: 数学模型；  高温合金；  真空电磁铸造；  电磁搅拌补缩能力；  

双断口真空开关的动态介质恢复特性分析第190-194页

关键词: 双断口真空开关；  动态介质恢复；  鞘层；  暂态恢复电压；  

第三届真空镀膜技术培训班通知第194-194页

ITO薄膜的微结构表征及其组分特性第195-199页

关键词: ito薄膜；  直流磁控溅射；  微结构；  组分；  

本征纳米硅薄膜的微结构表征第200-202页

关键词: 纳米硅；  晶化率；  晶粒尺寸；  拐点温度；  

低压甲烷等离子体发射光谱诊断第203-207页

关键词: 光学发射谱；  甲烷等离子体；  螺旋波放电；  

真空科学与技术学报杂志技术交流

非理想接触条件下阴极热子组件热模拟第208-212页

关键词: 阴极热子组件；  热模拟；  接触热阻；  温度分布；  

电泳淀积图形化碳纳米管场发射阴极及其场发射特性研究第213-217页

关键词: 碳纳米管；  场发射阴极；  电泳淀积；  电场激活；  物理机制；  

干法刻蚀制作场发射阴极阵列第218-221页

关键词: 场发射阵列；  干法刻蚀；  硅刻蚀；  反应离子刻蚀；  

低温处理温度对GaAs光电阴极激活结果的影响第222-225页

关键词: gaas光电阴极；  加热处理；  阴极材料；  光谱响应曲线；  

均匀场聚焦带状注速调管电子光学系统的研究第226-229页

关键词: 带状注速调管；  电子光学系统；  均匀磁聚焦；  

双光束镀膜系统中的信号优化处理研究第230-235页

关键词: 光学薄膜；  信号优化处理；  双锁相电路；  复合滤波；  双光束；  精度；  

氟化类金刚石（F—DLC）薄膜的红外分析第236-240页

关键词: 化学键；  傅里叶变换红外光谱；  介电常数；