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真空科学与技术学报 2007年第06期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志学术论文

类金刚石膜形态的分子动力学模拟研究第455-459页

关键词: 类金刚石膜；  分子动力学模拟；  

直流反应磁控溅射法制备CdIn2O4薄膜的光电性能研究第460-466页

关键词: 直流反应磁控溅射法；  cdin2o4薄膜；  光电性能；  最佳条件；  

RF-PCVD法制备纳米Al2O3粉体动力学模型第467-470页

关键词: 高频等离子体；  化学气相沉积；  纳米粉体；  氧化铝；  动力学；  

Al、N共掺Zn1-xMgxO薄膜的制备与性能研究第471-474页

关键词: 直流反应磁控溅射；  

利用HWCVD在柔性衬底上制备多晶硅薄膜第475-478页

关键词: 柔性衬底；  多晶硅薄膜；  热丝化学气相沉积；  太阳电池；  

真空科学与技术学报杂志综述评论

沉积条件和表面改性对磁控溅射法制备TiO2薄膜性能的影响第479-484页

关键词: 磁控溅射；  tio2；  薄膜；  沉积条件；  表面改性；  

氢致过渡族金属及合金薄膜的光电性能变化第485-492页

关键词: 薄膜；  光电性能；  综述；  氢；  过渡族金属；  合金；  

平面直流磁控溅射放电等离子体模拟研究进展第493-499页

关键词: 直流；  磁控溅射；  放电；  等离子体；  模拟；  磁场；  

真空科学与技术学报杂志技术交流

离子束辅助沉积改善铝薄膜的取向生长第500-503页

关键词: 高织构铝薄膜；  离子束辅助沉积；  入射角；  机械性能；  沟道效应；  

离子束溅射沉积Co纳米薄膜表面特征AFM、XPS分析第504-507页

关键词: 离子束沉积；  纳米薄膜；  粗糙度；  x射线光电子能谱；  

Mn或Cu掺杂非晶AlN薄膜的光致发光特性第508-510页

关键词: 氮化铝；  中频反应溅射；  掺杂；  光致发光；  

磁控溅射低温制备ZnO：Al透明导电膜及其特性研究第511-516页

关键词: zao薄膜；  低温；  磁控溅射；  红外发射率；  

脉冲偏压对电弧离子镀深管内壁沉积TiN薄膜的影响第517-521页

关键词: 电弧离子镀；  tin薄膜；  管内壁；  脉冲偏压；  

阴极热丝组件中辐射换热量的改善第522-525页

关键词: 阴极热丝组件；  辐射换热；  热耗散；  

电感耦合等离子体（ICP）辅助射频磁控溅射沉积ZrN薄膜的结构和性能研究第526-530页

关键词: 电感耦合等离子体；  磁控溅射；  zrn；  微结构；  纳米硬度；