真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

真空科学与技术学报 2007年第Z1期杂志 文档列表

碳纳米管薄膜场发射器件中栅极的调制特性研究第1-4页

关键词: 薄膜；  调制特性；  场发射；  

p型GaN上透明电极的研究现状第5-9页

关键词: 透明导电膜；  gan；  欧姆接触；  透明电极；  

静电悬浮加速度计真空装置的研制第10-14页

关键词: 重力测量卫星；  静电悬浮加速度计；  真空装置；  研制；  

隧穿型量子效应薄膜材料制备技术第15-17页

关键词: 分子束外延；  共振隧穿二极管；  量子隧穿效应；  

离子束入射角度对Co50Nb50薄膜微结构的影响第18-21页

关键词: 离子束辅助沉积；  入射角度；  微结构；  

应变率对Ag/Co多层膜硬度的影响及塑性变形不稳定性研究第22-26页

关键词: 多层膜；  应变速率；  塑性变形；  纳米压入；  

ZrC/ZrB2纳米多层膜的微观结构与机械性能的研究第27-30页

关键词: 磁控溅射；  调制周期；  调制比例；  超硬；  

Ar/N2气体比例对TaN/NbN纳米多层膜机械性能的影响第31-33页

关键词: 射频磁控溅射；  

ZrN/TiAlN纳米多层膜的制备及其结构与性能的研究第34-37页

关键词: 离子束辅助沉积；  硬度；  调制周期；  

等离子体加工光学元件装置技术研究第38-40页

关键词: 超光滑表面；  等离子体抛光；  加工平台；  等离子体源；  

Ti表面磁控溅射Nb膜的研究第41-44页

关键词: 磁控溅射；  铌膜；  基体温度；  膜厚；  真空退火；  附着性；  

同步辐射活化氧清洗光学元件研究第45-48页

关键词: 真空差分系统；  同步辐射；  光学元件；  清洗；  

DNB束功率测量系统设计第49-52页

关键词: 诊断中性束；  功率测量；  功率密度剖面；  

温度和脉冲频率对三维原子探针测试结果的影响第53-56页

关键词: 三维原子探针；  温度；  脉冲频率；  

CI(G)S薄膜太阳电池金属预置层的研究第57-61页

关键词: 顺序磁控溅射；  预热处理；