真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

真空科学与技术学报 2008年第03期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志学术论文

基底温度对NiOx薄膜性质的影响及其电致变色机理研究第189-193页

关键词: 液氮；  低温；  niox；  电致变色；  

对薄膜CrAlTi（Y）N硬度的研究第194-198页

关键词: 磁控溅射；  稀土y；  afm；  xps；  

P型掺锌硫化铜铝透明导电薄膜的制备和性能研究第199-202页

关键词: 透明导电薄膜；  p型半导体；  渠道火花烧蚀；  霍尔效应；  

空间等离子体环境模拟与地面试验技术第203-207页

关键词: 等离子体；  模拟设备；  带电试验；  高压太阳电池阵；  电弧放电；  

PbTe薄膜表面氧化机理研究第208-212页

关键词: 化合物半导体；  异质外延；  氧化；  xps；  

同轴结构8mm扩展互作用振荡器的分析研究第213-217页

关键词: 扩展互作用振荡器；  同轴结构高频系统；  数值模拟；  环形注电子枪；  

矩形平面磁控溅射装置薄膜沉积仿真第218-224页

关键词: 磁控溅射；  刻蚀；  沉积；  仿真；  

真空科学与技术学报杂志技术交流

掺氮类金刚石薄膜的显微结构和光谱学研究第225-229页

关键词: 射频磁控反应溅射；  掺氮类金刚石薄膜；  x射线光电子能谱；  拉曼光谱；  傅里叶变换红外透射光谱；  扫描电子显微镜；  

不同衬底上沉积硅薄膜的固相晶化研究第230-234页

关键词: 非晶硅；  退火；  pecvd；  多孔硅；  

载气对CIGS薄膜结构和表面形貌的影响第235-239页

关键词: 太阳能电池；  cigs；  磁控溅射；  薄膜；  硒化；  

过渡金属Mn对SiC薄膜的结构和光学性能的影响第240-243页

关键词: sic薄膜；  磁控溅射；  过渡金属mn；  光学性能；  

纤维基ZnO／Ag／ZnO多层膜的制备、结构及性能研究第244-247页

关键词: 磁控溅射；  原子力显微镜；  pet纤维；  光学性能；  电学性能；  

N^＋离子注入聚（2-甲氧基-5-辛氧基）对苯乙炔薄膜的微观结构第248-251页

关键词: 离子注入；  微观结构；  

射频磁控溅射法制备Al2（WO4）3薄膜和负热膨胀性能研究第252-255页

关键词: 磁控溅射；  负热膨胀；  

柔性衬底ITO薄膜的制备及其光电性能研究第256-260页

关键词: ito膜；  直流磁控溅射；  光电性能；  红外发射率；