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真空科学与技术学报 2009年第01期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志学术论文

多注耦合腔慢波结构冷测特性研究第1-4页

关键词: 行波管；  耦合腔；  慢波结构；  冷测特性；  多注；  

悬浮单根纳米碳管端部场分布的计算第5-9页

关键词: 单根纳米碳管；  场发射；  增强因子；  

激光等离子体通道天线的色散特性研究第10-15页

关键词: 激光等离子体通道天线；  特征方程；  色散特性；  

电容薄膜规热流逸效应修正方法研究第16-20页

关键词: 电容薄膜规；  热流逸效应；  校准因子；  温度；  

电弧离子镀NiCoCrAlY涂层的透射电镜研究第21-25页

关键词: nicocraly涂层；  电弧离子镀；  微观组织；  透射电镜；  

等离子体技术沉积SiCN薄膜中杂质O的来源、化合状态及其对薄膜结构和性能的影响第26-30页

关键词: sicn薄膜；  化学结构；  杂质；  

反应溅射AlN薄膜的动态特性第31-34页

关键词: 反应溅射；  动态模拟；  aln薄膜；  

二氧化硅在真空低价法制备铝过程中的歧化行为研究第35-37页

关键词: 真空冶金；  歧化；  二氧化硅；  硅；  

氟化非晶碳膜的微结构分析第38-41页

关键词: 氟化非晶碳薄膜；  pecvd；  微结构；  沉积温度；  

室温下Cu／3C—SiC（111）界面形成的研究第42-45页

关键词: cu；  肖特基势垒；  同步辐射光电子能谱；  

真空科学与技术学报杂志技术交流

工作参数对平面磁控溅射系统沉积速率的影响第46-51页

关键词: 磁控溅射；  镀膜；  沉积速率；  仿真；  

GaN纳米棒的制备及机理研究第52-55页

关键词: ni催化；  gan纳米棒；  生长机制；  

钇对CrAlTiN薄膜基体结合强度的影响研究第56-60页

关键词: 稀土y；  磁控溅射；  结合力；  afm；  

ICP—CVD制备氟化非晶碳（a—C：F）薄膜的研究第61-67页

关键词: 氟化非晶碳薄膜；  沉积机理；  原子力显微镜；  发射光谱；  

硫化法在不锈钢基体上制备硫化钨薄膜的研究第68-72页

关键词: 二硫化钨；  硫化；  物相分析；  结合力；  摩擦磨损；