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真空科学与技术学报 2009年第02期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志学术论文

NEA GaN和GaAs光电阴极激活机理对比研究第115-118页

关键词: nea；  gan；  gaas；  激活；  双偶极层模型；  

掺硼纳米非晶硅的太阳能电池窗口层应用研究第119-124页

关键词: 等离子体增强化学气相沉积；  纳米非晶硅；  硼掺杂；  掺杂比；  光学带隙；  

Sn2S3薄膜制备及结构与光学特性第130-134页

关键词: sn2s3；  薄膜；  真空蒸发；  结构和光学特性；  

铜上溅射沉积铀薄膜AES研究第135-138页

关键词: 铀薄膜；  铜；  俄歇电子能谱；  

Ka波段金属光子带隙慢波结构的特性分析第139-143页

关键词: 光子带隙结构；  慢波结构；  色散特性；  耦合阻抗；  

CuAlO2热电性能的研究进展第144-149页

关键词: cualo2；  超晶格层状结构；  功率因子；  热电性能；  

真空钎焊温度的建模与解耦控制第150-154页

关键词: 真空钎焊温度；  建模；  多变量预测函数解耦控制；  

等离子体辅助脉冲激光沉积和原位掺杂方法制备稀土掺杂GaN薄膜第155-159页

关键词: 稀土掺杂氮化镓；  原位掺杂；  激光烧蚀；  等离子体辅助脉冲激光沉积；  电子回旋共振微波等离子体；  

离子束轰击对电子束蒸发制备二氧化钛薄膜应力的影响第164-167页

关键词: 二氧化钛；  离子束轰击；  张应力；  压应力；  薄膜；  

反应磁控溅射碳化钒薄膜的微结构与力学性能第168-172页

关键词: 碳化钒；  硬质薄膜；  微结构；  力学性能；  磁控溅射；  

真空科学与技术学报杂志综述评论

原子层沉积技术及其在光学薄膜中的应用第173-179页

关键词: 原子层沉积；  光学薄膜；  前驱体；  光子晶体；  

真空科学与技术学报杂志技术交流

ITO薄膜的透射谱解谱第180-183页

关键词: 光学常数测量；  透射谱；  建模及解谱；  ito薄膜；  

划痕法综合评定膜基结合力第184-187页

关键词: 划痕试验；  结合力；  综合评定；  

工艺条件对硼掺杂纳米硅薄膜微结构及力学性能的影响第188-193页

关键词: 纳米硅薄膜；  掺硼；  弹性模量；  退火；  afm；  

刀片表面Ti—Si—N涂层的制备及应用研究第194-197页

关键词: 磁控溅射；  显微硬度；  耐磨性；