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真空科学与技术学报杂志

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真空科学与技术学报 2009年第03期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志学术论文
栅极调制纳米线的场发射特性第225-230页
关键词: 带栅极纳米线;  场增强因子;  发射电流密度;  
磁控溅射法制备铁磁形状记忆合金Ni—Mn—Ga薄膜的力学性能研究第231-235页
关键词: 形状记忆合金;  薄膜;  ecr;  磁控溅射;  
生物可降解Fe-O薄膜的制备及性能表征第236-240页
关键词: 等离子体浸没离子注入与沉积;  生物可降解;  抗腐蚀性能;  结合力;  
真空热处理对TbDyFe薄膜结构和磁学性能的影响第241-246页
关键词: tbdyfe薄膜;  真空热处理;  磁性;  结构;  
离子束表面处理抑制空间行波管多级降压收集级二次电子发射的研究第247-250页
关键词: 离子表面处理;  二次电子发射系数;  空间行波管效率;  
表面波等离子体天线的能量衰减系数研究第251-254页
关键词: 等离子体天线;  等离子体密度;  能量衰减系数;  表面波;  
真空科学与技术学报杂志综述评论
等离子体浸没式离子注入沉积技术及应用第255-263页
关键词: 等离子体浸没技术;  表面改性;  三维复杂构件;  类金刚石薄膜;  纳米金刚石薄膜;  
真空科学与技术学报杂志技术交流
He—Ar潘宁过程对表面波等离子体的影响第264-267页
关键词: 表面波等离子体;  潘宁效应;  朗缪尔双探针;  
大气压下甲烷等离子枪的光谱诊断研究第268-272页
关键词: 发射光谱;  甲烷;  大气压等离子枪;  电子温度;  
镀制工艺对TiO2光学膜层折射率影响研究第273-276页
关键词: tio2膜层;  折射率;  镀制工艺;  
射频溅射法制备硫化钨固体润滑薄膜的研究第277-281页
关键词: 二硫化钨;  射频溅射;  溅射工艺;  化学成分;  摩擦系数;  
磁控溅射TiC/a—C薄膜的结构和摩擦学性能研究第282-286页
关键词: 磁控溅射;  碳含量;  微结构;  摩擦性能;  
射频磁控溅射法低温制备ZnO:Zr透明导电薄膜及特性研究第287-291页
关键词: 透明导电薄膜;  磁控溅射;  薄膜厚度;  光电性能;  
PECVD法沉积类金刚石膜的结构及其摩擦学性能第292-297页
关键词: pecvd;  类金刚石膜;  结构分析;  摩擦性能;  
真空触发开关的起弧稳定性分析第298-303页
关键词: 真空触发开关;  起弧稳定性;  初始等离子体;