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真空科学与技术学报杂志

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真空科学与技术学报 2009年第05期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志学术论文
反应磁控溅射沉积SiOx薄膜制备镶嵌在二氧化硅介质中纳米晶硅不可行性研究第461-464页
关键词: 反应磁控溅射;  x射线光电子谱;  siox;  薄膜纳米晶硅;  
高Xe混合气体对荫罩式等离子体显示器性能的影响第465-469页
关键词: 荫罩式等离子体显示器;  高xe;  着火电压;  静态margin;  亮度;  发光效率;  
强磁场下真空蒸发Zn薄膜晶粒细化研究第470-473页
关键词: 强磁场;  晶粒细化;  真空蒸发沉积;  薄膜;  
电磁阴极磁场分布对磁控溅射系统伏安特性的影响第474-478页
关键词: 磁控溅射;  磁场分布;  等离子体;  非平衡磁控溅射;  
DBD—PECVD法制备CN薄膜的结构及性能研究第479-483页
关键词: 碳氮薄膜;  薄膜结构;  介质阻挡放电;  ftir;  afm;  raman;  
AlN在α—Al2O3(0001)表面吸附过程的理论研究第484-488页
关键词: aln薄膜;  密度泛函理论;  吸附;  
退火温度对(La2/3Ba1/3)(Cu0.15Mn0.85)O3薄膜微结构和磁性质的影响第489-493页
关键词: 薄膜;  退火;  xps;  结构;  磁性质;  
氢化微晶硅薄膜的两因素优化及高速沉积第494-498页
关键词: 生长速率;  晶化率;  孵化层;  分步沉积;  
百兆瓦级高功率速调管电子光学系统的研究第499-503页
关键词: 高功率微波;  速调管;  电子光学;  电子枪;  
不同激发频率下小型感应耦合等离子体特性研究第504-508页
关键词: 微感应耦合等离子体;  朗谬尔探针;  发射光谱;  离子密度;  电子温度;  
利用朗缪尔双探针诊断电弧离子镀等离子体参数第509-512页
关键词: 朗缪尔双探针;  电弧离子镀;  等离子体;  
行波管阴极热子组件结构的热分析第513-516页
关键词: 阴极热子组件;  ansys软件;  加热效率;  结构;  温度分布;  
螺旋槽式牵引泵过渡流态抽气特性的直接蒙特卡洛模拟第517-521页
关键词: 牵引分子泵;  螺旋槽式;  过渡流态;  蒙特卡洛方法;  数值模拟;  
真空科学与技术学报杂志综述评论
超高/极高真空测量发展综述第522-530页
关键词: 真空测量;  电离规;  x射线效应;  电子激励脱附;  场致发射;  激光电离;  
P型透明导电SnO2薄膜的研究进展第531-535页
关键词: sno2薄膜;  p型透明导电膜;  综述;  透明氧化物;