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真空科学与技术学报 2010年第04期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志学术论文

PECVD法沉积氢化非晶硅薄膜内应力的研究第341-346页

关键词: 薄膜；  内应力；  本征应力；  氢化非晶硅；  等离子体增强化学气相沉积；  

热铟封技术中多层金属薄膜的研究第351-354页

关键词: 薄膜；  气密性；  真空沉积；  热铟封；  像增强器；  

RF-PCVD法纳米WOx制备中传热及颗粒长大的数值模拟第363-366页

关键词: 高频等离子体；  化学气相沉积；  纳米粉体；  数值模拟；  氧化钨；  

螺旋线行波管的时域粒子模拟研究第374-379页

关键词: 螺旋线；  行波管；  时域；  

电解-电镀Ni粉对氧化物阴极性能的影响第380-384页

关键词: 飞行时间质谱；  氧化物阴极；  寿命；  

超声雾化热分解气相沉积法制备TiO2薄膜的气敏特性研究第385-389页

关键词: 超声雾化热分解法；  电子束蒸发；  气敏传感器；  tio2；  薄膜；  

3毫米波段频率选择表面滤波器的研究第390-394页

关键词: 频率选择表面；  模匹配；  hfss仿真；  频率响应特性；  3毫米波段；  

真空科学与技术学报杂志技术交流

氮流量对采用独立钛靶制备的（Ti,Al）N薄膜结构与性能的影响第395-400页

关键词: 直流反应磁控溅射；  3003almn合金；  ti靶；  氮流量；  

电子束蒸发氧化钛薄膜的化学成分与显微结构第401-404页

关键词: 氧化钛薄膜；  电子束蒸发；  化学成分；  结构特性；  

Ag-ZnS纳米复合薄膜的微结构和电学特性研究第405-408页

关键词: 射频磁控溅射；  微结构；  电学特性；  

TiO2/ZrO2复合薄膜的制备及工艺参数对薄膜折射率的影响第420-424页

关键词: 复合膜；  折射率；  配比；  工艺参数；  

晶振电极激光减薄调频技术的研究第425-429页

关键词: 石英晶振；  激光调频；  谐振频率；  q脉冲宽度；  

应用强磁场控制Zn薄膜取向研究第430-433页

关键词: 薄膜取向；  基底材料；  强磁场；  磁取向；  

等离子体钝化316L不锈钢抗点蚀性能研究第434-437页

关键词: 等离子体钝化；  点蚀；  极化曲线；  俄歇能谱；  

TMGa流量对玻璃衬底上低温沉积GaN的影响第445-449页

关键词: gan；  tmga流量；  化学气相沉积；  玻璃衬底；  低温；