真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

真空科学与技术学报 2011年第03期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志功能薄膜

射频磁控溅射制备负热膨胀ZrW2O8薄膜的应力特性研究第253-257页

关键词: 钨酸锆；  薄膜；  磁控溅射；  应力；  负热膨胀；  

ZnO：Sn/Ag/ZnO：Sn复合薄膜电极的防氧化性能研究第258-261页

关键词: 薄膜电极；  抗氧化；  电阻率；  

ZnS薄膜沉积过程的基材效应第262-266页

关键词: 基材效应；  zns；  薄膜；  折射率；  厚度；  

衬底对PECVD法生长氢化纳米硅薄膜的影响第267-271页

关键词: 纳米硅薄膜；  raman光谱；  表面粗糙度；  晶态比；  

C2H2流量对SiCN薄膜结构及阻挡性能的影响第272-277页

关键词: 射频磁控溅射；  sicn；  c2h2；  结构；  阻挡性能；  

能量过滤磁控溅射技术制备ITO薄膜及其特性研究第278-282页

关键词: ito薄膜；  光电性能；  表面粗糙度；  磁控溅射；  能量过滤磁控溅射；  

溅射功率对射频磁控反应溅射制备的Ag2O薄膜微结构的影响第283-286页

关键词: ag2o薄膜；  射频磁控溅射；  x射线衍射；  微结构；  

掺B金刚石膜的电火花抛光实验研究第287-291页

关键词: 金刚石膜；  掺硼；  电火花抛光；  回归分析；  

GDARE法制备不同厚度ZnO薄膜的热电性质第292-296页

关键词: 氧化锌薄膜；  结构；  温差电动势率；  电阻率；  

真空科学与技术学报杂志电子器件

高次谐波开槽潘尼管中的电子轨道研究第297-304页

关键词: 高次谐波；  回旋谐波潘尼管；  自洽非线性理论；  效率；  

钡钨阴极电子发射物411铝酸盐研究第305-308页

关键词: 411铝酸盐；  钡钨阴极；  电子发射物质；  发射性能；  

无汞平面光源亮度与发光效率的优化第309-313页

关键词: 平面光源；  无汞；  介质阻挡放电；  亮度；  发光效率；  

两种新型SMPDP驱动波形下的列电压动态范围的研究第314-319页

关键词: 荫罩式等离子体显示器；  列数据电压；  动态范围；  clear；  驱动波形；  

真空科学与技术学报杂志等离子体技术

聚变堆中H刻蚀碳氢薄膜的分子动力学模拟第320-325页

关键词: 分子动力学；  碳氢薄膜；  吸附；  刻蚀；  

空间飞轮轴承等离子体浸没离子注入氮层性能研究第326-329页

关键词: 空间飞轮；  氮等离子体浸没离子注入；  注入时间；  摩擦系数；