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真空科学与技术学报杂志

真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

主管单位:中国科学技术协会  主办单位:中国真空学会

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真空科学与技术学报 2011年第04期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志功能薄膜
Cr/Cu/Ag/Cu/Cr新型银基复合薄膜电极的防氧化性能研究第381-385页
关键词: 薄膜电极;  表面形貌;  防氧化性能;  
脉冲激光沉积制备SnS薄膜及其光学特性的研究第386-392页
关键词: sns薄膜;  脉冲激光沉积;  表面形貌;  透过率;  
氧氩流量比对ZnO薄膜的微结构及其发光特性的影响第393-396页
关键词: zno薄膜;  反应溅射;  光致发光;  氧氩流量比;  
透射式GaN光电阴极在正面光照和背面光照下的量子效率特性研究第397-401页
关键词: 紫外探测;  透射式gan光电阴极;  量子效率特性;  背面光照;  正面光照;  
等离子渗氮、离子镀TiN复合处理对纯钛铸件硬度及耐磨性的影响第402-405页
关键词: 氮化钛;  等离子渗氮;  磨擦系数;  耐磨性;  
真空科学与技术学报杂志电子器件
负-正相速跳变慢波结构行波管的小信号理论辅助分析第406-412页
关键词: 螺旋线行波管;  宽带;  小信号理论;  优化设计;  慢波结构;  
多注速调管TM310模同轴谐振腔杂模抑制的研究第413-418页
关键词: 多注速调管;  杂模抑制;  tn310模;  金属环;  
应用于等离子体显示器的铝电极及其介质层制备研究第419-423页
关键词: 等离子体显示器;  寻址电极;  氧化铝介质层;  磁控溅射;  阳极氧化;  
螺旋线行波管慢波组件散热性能的研究进展第424-434页
关键词: 螺旋线行波管;  慢波组件;  散热性能;  装配方法;  
极小气体流量测量技术研究第435-439页
关键词: 极小气体流量;  固定流导法;  分流法;  漏率校准;  
真空科学与技术学报杂志真空技术与理论
NBI离子源源头电源控制系统研究与设计第440-443页
关键词: plc;  中性束注入;  离子源;  远程控制;  
水环真空泵能效评价方法研究第449-452页
关键词: 水环真空泵;  效率;  能效评价;  欧拉准则;  
真空科学与技术学报杂志结构薄膜
高功率脉冲磁控放电等离子体注入与沉积CrN薄膜研究第459-464页
关键词: 高功率脉冲磁控放电;  等离子体离子注入与沉积;  氮化铬;  微观结构;  表面性能;  
TiO2和SiO2薄膜应力在线测量与研究第465-469页
关键词: tio2;  sio2;  离子辅助;  薄膜应力;  哈特曼传感器;  
真空科学与技术学报杂志等离子体技术
溅射沉积氢化非晶硅中辉光放电等离子体的Langmuir探针诊断第476-480页
关键词: 磁控溅射;  langmuir探针;  等离子体;  离子密度;  电子密度;