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真空科学与技术学报杂志

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主管单位:中国科学技术协会  主办单位:中国真空学会

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真空科学与技术学报 2011年第06期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志功能薄膜
透明导电薄膜ZnO∶Mn的低温制备及性能研究第657-660页
关键词: 透明导电薄膜;  靶与衬底之间的距离;  应力;  
无支撑、光学级MPCVD金刚石膜的研制第661-665页
关键词: 微波等离子体;  化学气相沉积;  无支撑金刚石膜;  光学透过率;  
溅射SmCo基永磁薄膜的结构和磁性能研究第666-670页
关键词: smco薄膜;  微机电系统;  磁控溅射;  相变;  矫顽力;  
磁控溅射法制备CdS多晶薄膜工艺研究第671-676页
关键词: 磁控溅射;  cds多晶薄膜;  沉积质量;  沉积速率;  晶体结构;  
铁改性锐钛矿型TiO_2降解有机物试验第677-680页
关键词: 光催化剂;  降解;  甲醛;  优化条件;  
真空科学与技术学报杂志结构薄膜
电弧离子镀制备CrN_x薄膜中熔滴的结构表征与形成机制第681-685页
关键词: 电弧离子镀;  crnx薄膜;  熔滴;  扫描电镜;  透射电镜;  
Al含量对CrAlN涂层微观结构和力学性能的影响第686-690页
关键词: 磁控溅射;  craln涂层;  al含量;  力学性能;  磨损机制;  
镶嵌结构界面金刚石涂层研究进展第691-695页
关键词: 金刚石;  镶嵌;  化学气相沉积;  结合力;  研究进展;  
真空科学与技术学报杂志等离子体技术
不同非平衡度磁场环境中溅射等离子体的诊断与分析第696-700页
关键词: 非平衡磁场;  langmuri探针;  等离子体密度;  磁感应强度;  
偏压对活性屏离子渗氮工艺的影响第701-704页
关键词: 活性屏离子渗氮;  直流离子渗氮;  偏压;  渗氮层;  辉光放电;  
疏水性材料的等离子体表面改性工艺研究第705-709页
关键词: 等离子体;  疏水性材料;  表面改性;  润湿性;  
基于MHD的小间隙真空电弧仿真研究第710-715页
关键词: 真空电弧;  磁流体动力学模型;  等离子体参数;  数值仿真;  
真空科学与技术学报杂志电子器件
一种通信应用中的X波段行波管预失真器第716-720页
关键词: 行波管功率放大器;  非线性失真;  预失真器;  增益和相位扩张量;  
采用光子晶体的行波管慢波结构高频特性研究第721-727页
关键词: 光子晶体;  带结构;  慢波电路;  行波管;  工作模式;  
基于容性感应探针的强流电子注轴向速度测量系统的研究第728-731页
关键词: 强流电子注;  轴向速度;  非拦截;  容性感应探针;