真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

真空科学与技术学报 2012年第01期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志功能薄膜

低温等离子体射流制备二氧化钛薄膜及其光催化活性的研究第1-5页

关键词: 等离子体射流；  二氧化钛；  光催化；  薄膜；  

AZ31镁合金基材非平衡磁控溅射镀膜工艺研究第6-10页

关键词: 氮化硅薄膜；  镁合金；  磁控溅射；  红外光谱；  抗腐蚀性；  

外加偏置电场对类金刚石薄膜激光损伤形貌影响研究第11-14页

关键词: 外加偏置电场；  无氢类金刚石；  激光损伤；  损伤形貌；  

真空科学与技术学报杂志结构薄膜

掺碳TiB_2薄膜/钢摩擦副的干摩擦磨损性能第15-18页

关键词: 掺碳；  tib2薄膜；  中间层；  摩擦磨损；  磁控溅射；  

空心阴极电子束对多弧离子镀TiAlN薄膜组织形貌及摩擦学性能的影响第19-24页

关键词: 空心阴极；  tialn薄膜；  电子束；  离化率；  

液相基底上铝薄膜的开裂与折叠行为研究第25-29页

关键词: 液相基底；  铝薄膜；  开裂；  折叠；  内应力；  

真空科学与技术学报杂志电子器件

多孔硅的微结构及其冷阴极的电子发射特性研究第30-35页

关键词: 多孔硅；  电化学腐蚀；  冷阴极；  电子发射；  

改善沉积氮化硅薄膜对FFS-TFT透明电极ITO影响的研究第36-38页

关键词: 铟锡氧化物；  氮化硅；  透过率；  薄雾；  

真空科学与技术学报杂志等离子体技术

脉冲偏压作用下MgO薄膜表面的荷电效应第48-52页

关键词: 脉冲偏压；  电弧离子；  荷电效应；  mgo薄膜；  

F原子与Si表面相互作用的动力学研究第53-58页

关键词: 分子动力学；  沉积；  刻蚀；  

真空科学与技术学报杂志真空技术与理论

束流终端大尺寸膜窗的研制第59-62页

关键词: 重离子治癌；  大尺寸膜窗；  膜窗材料；  应力分析；  双层真空结构；  

真空科学与技术学报杂志其它

三角点阵基底上基于幂次相互作用的二维磁性团簇磁结构研究第63-67页

关键词: 幂次相互作用；  扩散限制凝聚模型；  自旋；  

扫描透射电镜中厚样品的电子散射与透过率特性的模拟研究第68-73页

关键词: 扫描透射电镜；  电子透过率；  蒙特卡罗模拟；  电子散射；  厚样品；  

SiC/Al2O3界面结构的同步辐射X射线掠入射衍射研究第79-82页

关键词: 碳化硅薄膜；  蓝宝石衬底；  固源分子束外延；  掠入射衍射；