真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

真空科学与技术学报 2012年第02期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志功能薄膜

Ar等离子体改性纳米钛基TiO_2薄膜生物活性研究第88-94页

关键词: ar等离子体处理；  直流磁控溅射；  tio2薄膜；  纳米晶体钛；  生物活性；  

真空喷雾法制备高分子功能薄膜研究进展第95-103页

关键词: 聚合物薄膜；  真空喷射；  雾化；  分子电子学；  

基于印刷工艺的介质层绝缘特性研究第104-108页

关键词: 丝网印刷；  介质层；  绝缘特性；  

透明导电InSnGaMo氧化物薄膜光电性能研究第109-113页

关键词: insngamo复合氧化物薄膜；  透明导电薄膜；  脉冲激光沉积；  光电性能；  

TiZrV吸气剂薄膜吸气性能的研究第114-117页

关键词: tizrv薄膜；  非蒸散型吸气剂；  吸气性能；  粒子加速器；  

真空科学与技术学报杂志真空技术与理论

氦质谱非真空积累检漏法中几个问题的研究第118-122页

关键词: 检漏；  氦质谱非真空积累检漏法；  刚性收集室；  柔性收集室；  

一种真空状态下的气体流量测量新方法第123-127页

关键词: 真空；  流量测量；  调节阀；  动态平衡；  多元非线性回归；  

烘烤工况下的ITER中子屏蔽块整体结构分析第128-131页

关键词: 国际热核聚变实验堆；  中子屏蔽块；  烘烤；  整体结构分析；  

芯片级原子钟的气密性能分析第132-139页

关键词: 芯片级原子钟；  多层缓冲原子腔；  气密性；  毛细管等效气流模型；  matlab仿真；  

真空科学与技术学报杂志太阳能利用

Na_2S_2O_3浓度对共电沉积制备Cu_2ZnSnS_4薄膜性能的影响第145-149页

关键词: cu2znsns4薄膜；  电化学沉积；  硫化；  光学性能；  

真空科学与技术学报杂志电子器件

电真空器件热阴极加热功率与温度分布关系的测试与模拟第150-154页

关键词: 热阴极；  温度；  电子发射；  热传导；  数值模拟；  

短间隙真空开关电弧图像边缘提取研究第155-157页

关键词: 真空开关；  短间隙真空电弧；  图像处理；  边缘提取；  

真空科学与技术学报杂志结构薄膜

碳掺杂对CrN镀层显微硬度与组织结构的影响第158-162页

关键词: 磁控溅射；  crcn镀层；  原子力显微镜；  x射线衍射；  x射线光电子能谱；  

微波等离子体化学气相沉积法生长非晶碳化硅薄膜第163-168页

关键词: 微波电子回旋共振等离子体；  非晶碳化硅；  红外光谱；  光学带隙；  

真空科学与技术学报杂志表面科学

Ti/n型6H-SiC（0001）接触界面的研究第169-171页

关键词: ti；  界面；  肖特基势垒；  x射线光电子能谱；