真空科学与技术学报杂志-2012年第08期-学术之家

磁控溅射法制备CIGS薄膜太阳能电池的工艺及性能研究第661-668页

关键词: 太阳能电池；退火处理；磁控溅射；铜铟镓硒；铜铟镓硒靶材；

铜基NiCr系太阳光吸收薄膜制备及性能分析第669-673页

关键词: 磁控反应溅射；吸收比；发射率；溅射工艺；填充因子；

TiZrV吸气剂薄膜的性能研究第674-677页

关键词: tizrv吸气剂薄膜；直流磁控溅射；二次电子产额；光致解吸；吸气性能；

脉冲电沉积法制备SnS薄膜及其光电性质研究第682-687页

关键词: sns薄膜；结构；脉冲电沉积法；肖特基接触；

光可控气致变色节能窗的应用研究第688-692页

关键词: 气致变色窗； wo3薄膜；耐用性；

溶液法制备MgB_2超导膜研究第693-699页

关键词: mgb2；混合物理化学气相沉积；溶液法；

热电薄膜与薄膜温差电池研究进展第700-704页

关键词: 热电薄膜；薄膜温差电池；薄膜热电性能；优值；功率因子；

空间光学薄膜技术第710-716页

关键词: 光学薄膜；空间环境；滤光片；窄带滤光片；线性渐变滤光片；

膜厚对导电氧化锌宽带抗反射涂层的太赫兹传输影响第717-721页

关键词: 太赫兹时域光谱；导电氧化锌膜；宽带抗反射；薄膜厚度；

溅射沉积CuO薄膜的光学和电学特性第722-726页

关键词: cuo薄膜；禁带宽度；反应磁控溅射； cu2o薄膜；

基体温度对中频脉冲非平衡磁控溅射技术沉积类金刚石薄膜结构与性能的影响第727-731页

关键词: 类金刚石薄膜；基体温度；中频脉冲非平衡磁控溅射技术；微观结构；性能；

硅碳氧薄膜光学性能研究第732-735页

关键词: 硅碳氧；薄膜；射频磁控溅射技术；光学性能；

诱导磁场对化学沉积Co-Ni-P薄膜磁性能的影响第736-739页

关键词: 诱导场；化学湿法沉积； conip薄膜；磁性薄膜；

氩气流量对四面体非晶碳膜结构和摩擦性能的影响第740-745页

关键词: 单弯曲阴极真空电弧；氩气流量；四面体非晶碳膜；应力； sp3含量；

等离子体激活电子束物理气相沉积NiCoCrAlY涂层的制备及微观组织结构研究第746-750页

关键词: 电子束物理气相沉积；等离子体；高温防护涂层；微观结构；

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