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真空科学与技术学报杂志

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主管单位:中国科学技术协会  主办单位:中国真空学会

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真空科学与技术学报 2012年第11期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志功能薄膜
BST组分梯度薄膜的性能研究第955-960页
关键词: 梯度薄膜;  磁控溅射;  温度稳定性;  eds线扫描;  
射频分子束外延生长氮化铝材料中缺陷的研究第964-968页
关键词: 分子束外延;  氮化铝;  位错密度;  点缺陷;  阴极荧光;  
钛种植体表面润湿性控制的实验研究第969-973页
关键词: 钛种植体;  润湿性控制;  喷砂酸蚀法;  等离子体氧化;  分子自组装法;  
氩气压强对直流磁控溅射法制备ZnO∶Nb透明导电薄膜性质的影响第974-977页
关键词: 溅射压强;  透明导电薄膜;  磁控溅射;  
真空科学与技术学报杂志电子嚣件
盘荷波导结构高频特性分析及其在高功率速调管中的应用第978-984页
关键词: 速调管;  盘荷波导;  色散特性;  
多注PPM聚焦系统中横向磁场的研究第985-990页
关键词: 多注;  周期永磁;  横向磁场;  饱和;  
栅极绝缘层工艺优化对氢化非晶硅TFT特性的改善第991-995页
关键词: 栅极绝缘层;  氢化非晶硅;  界面处理;  tft特性;  等离子增强化学气相沉积;  
带状注速调管单端口输入腔的场形平衡方法第996-1002页
关键词: 带状注速调管;  输入腔;  纵向电场;  场形平衡方法;  
真空科学与技术学报杂志等离子体技术
不同流速对LTE态下氢等离子体特性的研究第1009-1015页
关键词: 氢等离子体;  局部热平衡;  多级弧;  流体;  
电子对介质阻挡放电平面光源光电特性的影响研究第1016-1020页
关键词: 平面光源;  阴极射线荧光粉;  介质阻挡放电;  光致荧光粉;  
真空科学与技术学报杂志真空治炼
真空硅热直接还原制备镁锂合金研究第1021-1025页
关键词: 硅热法;  镁锂合金;  硅铁;  真空;  
红土镍矿真空碳热还原特性第1026-1032页
关键词: 真空冶金;  红土镍矿;  碳热还原;  金属镁;  镍铁;  
真空限氧法制备纳米氧化锌及其动力学第1033-1037页
关键词: 真空;  纳米氧化锌;  动力学;  形貌;  
真空科学与技术学报杂志真空技术与理论
高功率激光系统金属表面颗粒污染物负压吸取采样方法研究第1038-1041页
关键词: 高功率激光系统;  光滑金属表面;  颗粒污染物采样;  负压采样法;  
真空科学与技术学报杂志纳米技术
离子束轰击诱导硅表面纳米结构和铁纳米条纹第1055-1059页
关键词: 离子束轰击;  自组装纳米结构;  表面形貌;