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真空科学与技术学报杂志

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主管单位:中国科学技术协会  主办单位:中国真空学会

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真空科学与技术学报 2012年第12期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志结构薄膜
磁控溅射W—Ti—N/MoS2薄膜及其摩擦学性能研究第1061-1066页
关键词: mos2薄膜;  磁控溅射;  摩擦学性能;  
(Ti,Al,Zr)N多元硬质膜的退除方法与工艺研究第1067-1073页
关键词: 退除液;  多弧离子镀;  al;  高速钢;  
基于磁控溅射技术的CrCN镀层钢球对轴承温升性能的影响第1074-1077页
关键词: 磁控溅射;  crcn镀层;  钢球;  轴承;  温升性能;  
PVD法制备TiN涂层界面特征与摩擦磨损性能第1078-1083页
关键词: 物理气相沉积;  tin涂层;  结合强度;  摩擦系数;  磨损性能;  
基底偏压对电弧离子镀NiCrAlY涂层阻尼性能的影响第1084-1088页
关键词: 基底偏压;  电弧离子镀;  nicraly;  无机阻尼涂层;  阻尼因子;  
真空科学与技术学报杂志电子嚣件
基于AlGaN/GaN HEMT结构的氢气传感器第1089-1092页
关键词: algan;  gan高电子迁移率晶体管;  氢气传感;  灵敏度;  恢复特性;  
速调管圆柱同轴谐振腔高阶TM310模式输出回路第1093-1097页
关键词: 同轴谐振腔;  高阶tm310模式;  间隙阻抗;  3;  db带宽;  
碱金属锑化合物膜层荧光特性测试与分析第1098-1102页
关键词: 多碱光电阴极;  带隙;  荧光;  像增强器;  光谱;  
一种半导体玻璃及其制作的体导电微通道板的特性表征第1103-1108页
关键词: 微通道板;  半导体玻璃;  体导电微通道板;  离子反馈;  
真空科学与技术学报杂志等离子体技术
172nm真空紫外光源的研制及驱动特性研究第1114-1118页
关键词: 真空紫外;  结构设计;  效率;  脉冲波形;  
真空科学与技术学报杂志真空治炼
真空铁热还原氧化锂制备金属锂的热力学分析与实验初探第1123-1128页
关键词: 真空冶金;  碳酸锂;  铁粉;  热力学分析;  锂的还原率;  
分子相互作用体积模型在真空蒸馏分离铅锡合金中的应用第1129-1135页
关键词: 铅锡合金;  活度系数;  分子相互作用体积模型;  真空蒸馏;  
真空科学与技术学报杂志真空技术与理论
一种氦源装置的设计与应用第1136-1139页
关键词: 检测要求;  氦源装置;  控制释放;  可靠性;  
真空科学与技术学报杂志工艺设备
汽轮机凝汽器空气漏入率在线检测方法第1145-1148页
关键词: 汽轮发电机组;  真空系统;  漏气率;  实验研究;  
猕猴桃真空干燥控制系统与工艺的研究第1149-1153页
关键词: 真空冷冻;  猕猴桃;  vc;  控制系统;