真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

真空科学与技术学报 2013年第10期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志功能薄膜

掺杂对ZnO溶胶凝胶薄膜光电特性影响的研究进展第955-963页

关键词: zno薄膜；  掺杂；  光电特性；  溶胶凝胶法；  

基体偏压对高功率脉冲磁控溅射制备类石墨碳膜的影响研究第969-974页

关键词: 高功率脉冲磁控溅射；  偏压；  类石墨碳膜；  微观结构；  

电子回旋共振等离子体辅助原子层沉积金属铝薄膜的研究第975-979页

关键词: 原子层沉积；  微波电子回旋共振；  退火；  表面电阻；  

真空科学与技术学报杂志等离子体技术

低气压射频空心阴极放电氩等离子体发射光谱分析第980-984页

关键词: 射频放电；  发射光谱；  空心阴极；  电子温度；  

不同等离子体压强时扰动磁场的演化规律第991-994页

关键词: 等离子体压强；  扰动磁场；  半解析方法；  

郎穆尔探针低温低压等离子体诊断第995-997页

关键词: 朗缪尔探针；  等离子体诊断；  oml离子收集理论；  多重滤波；  数字实验；  

真空科学与技术学报杂志结构薄膜

双靶磁控溅射共沉积V—C—Co薄膜的结构及力学性能第998-1001页

关键词: 磁控溅射；  微结构；  力学性能；  

磁控溅射AlN／Cu纳米复合涂层的性能研究第1002-1006页

关键词: aln；  cu纳米复合涂层；  反应磁控溅射；  力学性能；  弹性回复；  x射线光电子能谱；  

真空科学与技术学报杂志太阳能利用技术

空间太阳阵表面静电放电特性实验研究第1007-1010页

关键词: 空间太阳阵；  静电放电；  特性；  实验；  

真空科学与技术学报杂志真空技术与理论

真空滤油机流场的数值模拟第1019-1025页

关键词: 真空滤油机；  油水分离；  蒸发；  相变；  动态特性；  

真空管道高速列车气动噪声源特性分析第1026-1031页

关键词: 真空管道；  管道压力；  阻塞比；  列车速度；  偶极子噪声源；  四极子噪声源；  

真空科学与技术学报杂志纳米技术

次亚磷酸钠还原制备纳米银粉及其催化性能研究第1037-1041页

关键词: 纳米银粉；  制备；  高分散；  催化；  

真空科学与技术学报杂志电子器件

MgO激子束缚能-第一性原理GW—BSE研究第1042-1046页

关键词: mgo保护层；  第一性原理；  激子束缚能；  bse；  

真空科学与技术学报杂志工艺设备

扫描控制器能量均匀性设计与研究第1047-1050页

关键词: 扫描；  能量场；  磁场；  均匀性；  电子束；  

真空科学与技术学报杂志真空冶炼

真空碳热还原煅白制取金属镁的冷凝实验研究第1051-1056页

关键词: 真空；  碳热还原；  煅白；  蒸气冷凝；