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真空科学与技术学报杂志

真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

主管单位:中国科学技术协会  主办单位:中国真空学会

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真空科学与技术学报 2014年第01期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志真空技术与理论
一种利用负压吸动效应的动态配气方法第1-4页
关键词: 配气;  负压;  雾化法;  实验;  
基于计算多刚体系统动力学的双级滑阀真空泵振动平衡研究第5-9页
关键词: 双级;  计算多刚体系统;  滑阀真空泵;  振动平衡;  
强流脉冲电子束辐照YG6X硬质合金表层组织与性能研究第16-19页
关键词: 强流脉冲电子束;  硬质合金;  显微组织;  显微硬度;  磨损;  
傅里叶变换静电场离子阱的离子入射条件优化研究第20-24页
关键词: 傅里叶变换静电场离子阱;  离子运动;  入射条件;  优化;  
低温泵快速再生系统研究第25-27页
关键词: 低温泵;  快速再生;  加热结构;  自动化;  
基于扩散放气模型的杜瓦真空寿命分析第28-31页
关键词: 杜瓦;  真空寿命;  扩散放气模型;  加速因子;  烘烤出气;  出气特性;  
真空科学与技术学报杂志电子器件
栅极绝缘层和有源层沉积工艺的优化对TFT特性的影响研究第32-37页
关键词: 栅极绝缘层;  有源层;  沉积条件优化;  tft特性;  
PDP瞬时残像及其改善方法第38-42页
关键词: 等离子显示器;  运动检测;  瞬时残像;  驱动方法;  
Ka波段双注折叠波导行波管的研究第43-48页
关键词: 双注折叠波导行波管;  归一化相速度;  耦合阻抗;  增益不稳定性;  
真空科学与技术学报杂志真空冶炼
高炉粉尘球团真空碳热还原过程中Zn还原动力学第53-59页
关键词: 真空碳热还原;  动力学;  高炉粉尘;  锌;  
真空科学与技术学报杂志功能薄膜
SiCOH低k介质中低表面粗糙度沟道的刻蚀研究第68-73页
关键词: sicoh低k介质;  沟道刻蚀;  双频容性耦合等离子体;  表面粗糙度;  沟道剖面结构;  
真空科学与技术学报杂志结构薄膜
类金刚石膜-磨粒滑动接触过程的有限元分析第79-83页
关键词: 类金刚石膜;  磨粒;  滑动接触;  应力应变;  有限元分析;  
真空科学与技术学报杂志等离子体技术
放电参量对电负性容性耦合等离子体电子密度的影响第84-90页
关键词: 等离子体;  电负性气体;  微波共振探针;  电子密度;  
真空科学与技术学报杂志太阳能利用技术
放电功率对VHF-PECVD沉积微晶硅薄膜的生长特性的仿真模拟第91-95页
关键词: 甚高频等离子体增强化学气相沉积;  微晶硅薄膜;  模拟;  光发射谱;  
真空科学与技术学报杂志纳米技术
磁场后处理增强碳纳米管场发射特性的研究第96-99页
关键词: 碳纳米管;  场致发射;  磁场tb332;