真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

真空科学与技术学报 2014年第03期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志真空技术与理论

氯化锂溶液液滴真空闪蒸过程温度分布特性研究第197-203页

关键词: 闪蒸；  氯化锂；  热质传递；  辐射；  

香蕉片微波真空干燥的工艺参数优化第204-209页

关键词: 香蕉片；  微波真空干燥；  色差；  脆度；  膨化率；  感官品质；  优化；  

氦质谱正压累积检漏不确定度评定的最小二乘法应用研究第210-215页

关键词: 不确定度评定；  检漏；  最小二乘法；  小卫星；  

果蔬真空低温干燥箱搁板的传热分析及试验研究第216-220页

关键词: 真空干燥箱；  搁板；  温度分布；  试验研究；  

极高真空环境下软金属刀口密封研究第221-224页

关键词: 软金属合金；  刀口挤压密封；  极高真空；  漏率；  航天器；  

真空夹具系统的设计第225-229页

关键词: 工件变形；  真空夹具；  真空发生器；  气路结构；  

石英玻璃真空腔的低温键合技术研究第230-234页

关键词: 石英玻璃；  真空腔；  低温键合；  水解；  脱水；  

真空科学与技术学报杂志结构薄膜

不同调制比NbSiN／VN多层膜微观结构、力学和摩擦性能研究第241-244页

关键词: 射频磁控溅射；  nbsin；  vn多层膜；  相结构；  力学性能；  平均摩擦系数；  

射频磁控溅射法制备TiSiN纳米复合涂层的结构与性能研究第245-250页

关键词: tin；  si3n4复合涂层；  气压；  温度；  n2；  ar气流比；  

真空科学与技术学报杂志功能薄膜

离子轰击对HIPIMS制备TiN薄膜结构和性能的影响第256-260页

关键词: 高功率脉冲磁控溅射；  tin；  离子轰击；  致密；  

欠氧化气氛下等离子体辅助脉冲直流磁控溅射高纯度Al2O3薄膜第261-265页

关键词: 等离子体辅助磁控溅射；  氧化铝薄膜；  透过率；  光学常数；  表面形貌；  

铁氧体表面耐高温Ni—V／Ag复合金属化薄膜的研究第266-271页

关键词: 磁控溅射；  铁氧体电感；  无铅焊锡；  高温；  

真空科学与技术学报杂志等离子体技术

聚碳酸酯基片超疏水表面的制备与表征第272-277页

关键词: 聚碳酸酯；  超疏水；  表面形貌；  表面化学成分；  磨损实验；  

栅绝缘层过孔的反应离子刻蚀研究第278-281页

关键词: 栅绝缘层过孔；  反应离子刻蚀；  过刻量；  气体比例；  

浸没式等离子体注入设备的仿真优化第282-288页

关键词: 感应耦合等离子体；  正交实验；  参数优化；  边缘效应；