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真空科学与技术学报杂志

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主管单位:中国科学技术协会  主办单位:中国真空学会

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真空科学与技术学报 2014年第05期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志等离子体技术
低气压阴极弧斑等离子体除去钢表面氧化层的实验研究第439-442页
关键词: 等离子体;  阴极弧斑;  氧化层;  除鳞;  
长轴零件直流等离子体离子注入轨迹数值仿真研究第443-448页
关键词: 直流等离子体注入;  matlab软件;  长轴;  离子轨迹;  
双阳极超音速等离子体炬数值模拟研究第449-453页
关键词: 超音速等离子炬;  基于磁矢量势磁流体动力学;  多场耦合;  等离子射流;  弧根位置;  双阳极;  
离子发动机放电阴极的溅射腐蚀机理研究综述第461-468页
关键词: 离子发动机;  放电阴极;  溅射;  离子声波;  
真空科学与技术学报杂志结构薄膜
制备工艺对磁控溅射Mo-N薄膜微结构和性能的影响第469-472页
关键词: 磁控溅射;  相结构;  硬度和摩擦性能;  
外载荷下带有界面裂纹的DLC薄膜应力响应研究第473-476页
关键词: 类金刚石碳膜;  有限元分析;  界面裂纹;  力学响应;  应力分析;  
阴极弧离子镀AlCrN涂层原子力显微镜分析第477-482页
关键词: tic基金属陶瓷刀具;  alcrn涂层;  原子力显微镜;  三维表面微观形貌;  功率谱密度;  
SiAlNx薄膜的应力释放模式及力学性能研究第483-489页
关键词: sialnx薄膜;  低辐射镀膜玻璃;  电话线屈曲;  力学性能;  内应力;  
NbSe2/CeNbO4纳米复合材料的制备及其摩擦性能研究第490-494页
关键词: nbse2;  cenbo4纳米复合材料;  固相法;  添加剂;  摩擦性能;  
真空科学与技术学报杂志真空技术与理论
螺杆真空泵双头对称等螺距转子型线研究第495-499页
关键词: 真空泵;  螺杆转子;  双头;  等螺距;  型线;  
双真空结构设计对氢原子钟温度灵敏度的改善研究第500-503页
关键词: 双真空;  氢原子钟;  温度灵敏度;  
一种下限为1.3×10^-14Pa·m^3/s的真空漏孔校准装置第504-509页
关键词: 累积法;  固定流导法;  真空漏孔;  漏率;  
南瓜片微波真空干燥特性第510-516页
关键词: 南瓜片;  微波真空干燥;  干燥特性;  数学模型;  
真空科学与技术学报杂志真空冶炼
真空碳热还原分解硫酸钙热力学分析及实验探究第517-521页
关键词: caso4;  真空;  碳热还原;  热力学;  
粗铅真空蒸馏脱除铜锡的研究第522-527页
关键词: 粗铅;  真空蒸馏;  脱除;  铜锡;  富集银;