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真空科学与技术学报杂志

真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

主管单位:中国科学技术协会  主办单位:中国真空学会

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真空科学与技术学报 2014年第11期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志真空技术与理论
液力传动在罗茨真空泵上的应用第1141-1145页
关键词: 液力传动;  罗茨泵;  应用;  
TC4钛合金低压真空渗氮处理第1146-1149页
关键词: tc4钛合金;  低压真空渗氮;  组织;  性能;  
重力对磁性液体密封性能的影响第1160-1163页
关键词: 磁性液体;  密封;  重力;  极限尺寸;  
真空绝热板导热系数快速测量方法的研究第1164-1168页
关键词: 真空绝热板;  导热系数;  快速测量;  ansys;  
真空科学与技术学报杂志结构薄膜
辉弧共溅射Ar/N2流量比对TiN薄膜结构及硬度的影响第1173-1177页
关键词: 辉弧共溅射;  tin薄膜;  硬度;  
射频磁控溅射法沉积SiC-Al薄膜的摩擦特性第1178-1183页
关键词: 中间过渡材料;  摩擦特性;  磨耗;  界面强度;  
Si3N4球/DLC膜摩擦副在真空环境下的摩擦学行为研究第1184-1191页
关键词: 类金刚石膜;  摩擦磨损性能;  硬度;  真空工况;  
低温等离子体辅助脉冲直流磁控溅射制备TiN薄膜第1192-1196页
关键词: 低温等离子体;  脉冲直流磁控溅射;  氮化钛薄膜;  高温抗氧化特性;  
钝化处理对Co-Cr-Mo合金摩擦性能的影响第1197-1201页
关键词: 钝化膜;  高温;  摩擦磨损;  
(Ti,Al,Si,C)N硬质膜层高温性能研究第1202-1205页
关键词: al;  si;  硬质膜层;  高温性能;  显微组织;  摩擦磨损;  
真空科学与技术学报杂志等离子体技术
直流磁控溅射中矩形平面靶刻蚀形貌的数值计算及优化第1206-1214页
关键词: 磁控溅射;  矩形靶;  monte;  carlo;  刻蚀形貌;  利用率;  
微空心阴极放电的初始放电过程研究第1215-1221页
关键词: 微空心阴极放电;  蒙特卡罗模型;  初始放电;  虚阳极;  自洽电场;  
应用于TGV的ICP玻璃刻蚀工艺研究第1222-1227页
关键词: 玻璃通孔;  感应耦合等离子体刻蚀;  刻蚀速率;  正交实验;  
真空科学与技术学报杂志电子器件
退火对Al-Al2O3-Ti/Au金属-绝缘体-金属电子源发射特性的影响第1228-1233页
关键词: 电子发射特性;  退火;  电形成;  
真空科学与技术学报杂志真空冶炼
硅热法炼镁用白云石球团制备及煅烧工艺研究第1242-1245页
关键词: 白云石;  制团;  烧损率;  煅烧;