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真空科学与技术学报杂志

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主管单位:中国科学技术协会  主办单位:中国真空学会

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真空科学与技术学报 2015年第01期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志功能薄膜
钼缓冲层对钼/铜叠层结构电极特性的影响第1-5页
关键词: 显示技术;  钼铜叠层电极;  电阻率;  扩散;  附着力;  
La掺杂对Sn02薄膜光学特性影响的第一性原理及实验研究第6-11页
关键词: la掺杂;  sn02;  溶胶凝胶法;  第一性原理;  光学特性;  
溅射气压对Li—W共掺杂ZnO薄膜性能的影响第12-17页
关键词: 共掺杂;  溅射气压;  zno薄膜;  
退火温度对CuGa0.8Ge0.2Se2薄膜结构及光学特性的影响第23-26页
关键词: 退火温度;  中间带;  脉冲激光沉积法;  
银修饰氮掺杂TiO2薄膜的制备及光催化性能研究第27-32页
关键词: tio2薄膜;  氮掺杂;  银修饰;  磁控溅射;  可见光催化;  活性;  
YSZ/STO/YSZ—STO超晶格电解质薄膜低温电学特性第33-37页
关键词: 脉冲激光沉积;  电导活化能;  电导率;  
真空科学与技术学报杂志真空技术与理论
基于二次优化策略的约束环内稀薄气体粘度修正第38-43页
关键词: 粘度修正;  努森数;  稀薄气体;  二次优化;  
行星周转镀膜装置设计第44-48页
关键词: 摩擦轮行星组件;  镀膜系统;  行星周转镀膜装置;  平面蒸镀;  
三喷嘴蒸汽喷射泵的三维数值模拟研究及分析第49-56页
关键词: 蒸汽喷射泵;  计算流体力学;  数值模拟;  三喷嘴;  喷射系数;  
不规则形状容器容积的两种快速标定方法第57-61页
关键词: 真空;  容积标定;  线性回归;  气态方程;  
基于真空吸附的微器件受力分析研究第62-68页
关键词: 微装配;  微器件;  真空吸附;  粘附力;  受力分析;  
聚四氟乙烯密封圈密封性能研究第69-73页
关键词: 聚四氟乙烯;  密封性能;  氦质谱检漏;  渗透;  泄漏;  
考虑热传递的真空容腔压力响应研究第74-78页
关键词: 气动真空系统;  容腔;  压力响应;  传热系数;  
真空科学与技术学报杂志电子器件
一种用于热阴极的高可靠热子第79-83页
关键词: 微波真空电子器件;  热阴极;  热子;  焊接;  焊料;  
直接吸收式太阳能集热纳米流体光热特性研究第84-88页
关键词: 纳米流体;  太阳能;  辐射;  光热特性;  直接吸收式;