真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

真空科学与技术学报 2015年第08期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志真空技术与理论

多模式交变耦合磁场辅助电弧离子镀弧源设计第913-918页

关键词: 多模式交变耦合磁场；  离子镀弧源；  轴对称发散磁场；  多模式反极性动态聚焦导引磁场；  动态拱形耦合磁场；  

几种热力学模型应用于二元合金中各组元活度计算的研究第919-925页

关键词: 二元合金；  热力学模型；  活度；  平均偏差；  

等螺距螺杆真空泵内气体热力过程的研究第926-933页

关键词: 螺杆式真空泵；  抽气过程；  气体热力学分析；  等螺距；  功耗；  排气温度；  

极紫外真空动态气体锁流场分析与研究第940-946页

关键词: 极紫外光刻机；  动态气体锁；  稀薄气体流场；  抑制率；  

严格密封型螺杆真空泵转子型线研究第947-954页

关键词: 螺杆真空泵；  转子型线；  密封；  间隙；  

真空科学与技术学报杂志功能薄膜

Si3N4球表面DLC膜在干摩擦条件下的摩擦学性能分析第955-962页

关键词: 氮化硅球；  类金刚石膜；  摩擦学性能；  工况参数；  

基于柔性衬底的Ti、F共掺ZnO透明导电薄膜的制备及其性能研究第963-969页

关键词: 透明导电薄膜；  pet柔性衬底；  脉冲激光沉积；  

a-Si：H基薄膜中SiH及SiH2键构成对n型直拉单晶硅片钝化效果的影响研究第970-974页

关键词: 掺氧；  热处理；  本征非晶硅薄膜；  钝化；  sih键；  sih2键；  

射频磁控溅射制备氮化钽薄膜及微结构和电性能研究第975-978页

关键词: 射频磁控；  tan薄膜；  氮分压；  沉积温度；  沉积时间；  

真空科学与技术学报杂志等离子体技术

等离子体活化提高碳纤维/树脂复合材料表面Al涂层结合强度的研究第979-983页

关键词: 等离子体活化；  结合强度；  al涂层；  

铝薄膜结构第一镜氢离子溅射特性研究第984-988页

关键词: 薄膜结构第一镜；  h等离子体；  偏压溅射；  反射率；  

螺旋波等离子体放电特性的射频补偿朗缪尔单探针测量研究第989-993页

关键词: 螺旋波等离子体；  射频补偿探针；  模式转变；  低场密度峰；  

真空科学与技术学报杂志电子器件

球面近似高斯波束等相位面对开放式谐振腔性能的影响第994-999页

关键词: 等相位面；  开放式谐振腔；  复介电常数；  高斯波束；  输出窗；  

THz两级串联慢波结构研究第1000-1004页

关键词: 太赫兹；  色散；  真空电子器件；  慢波结构；  太赫兹源；  

真空科学与技术学报杂志结构薄膜

沉积温度对磁控溅射制备V-Al-Si-N硬质涂层结构及性能的影响第1005-1010页

关键词: 磁控溅射；  沉积温度；  生长结构；  摩擦磨损；