真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

真空科学与技术学报 2016年第01期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志电子器件

大功率单色LED拟合日光光谱研究第1-5页

关键词: 日光光谱；  发光二极管；  光谱组合；  类日光照明；  

新型SnO2微气敏传感器的设计第6-9页

关键词: 微气敏传感器；  二氧化锡；  ansys；  温度分布；  磁场分布；  

一种多物理场耦合计算的趋正剖分算法第15-20页

关键词: 单元生成；  真空断路器；  耦合计算；  波前法；  laplacian光滑技术；  

用于Ka波段行波管的反射式可调预失真线性化器第21-27页

关键词: 行波管放大器；  预失真电路；  增益；  位相扩展；  三阶交调；  

真空科学与技术学报杂志真空技术与理论

水环泵在钢液真空精炼领域的应用探讨第33-37页

关键词: 真空精炼；  水环泵；  抽气能力；  吸入绝对压力；  循环利用；  

大型空间环境模拟设备真空容器可靠性优化设计第38-43页

关键词: 空间环境模拟；  真空容器；  可靠性；  优化设计；  

基于热管传热的盐溶液真空雾化闪蒸水分离实验研究第44-50页

关键词: 热管；  真空雾化；  闪蒸；  海水淡化；  

基于三维实体模型的玉米颗粒真空干燥数值模拟第51-56页

关键词: 真空干燥；  玉米颗粒；  数值模拟；  三维实体模型；  

真空科学与技术学报杂志真空冶炼

真空蒸馏-分级冷凝法处理铜浮渣的应用研究第57-63页

关键词: 铜浮渣；  硫化物；  粗铅；  铜银锑合金；  

真空蒸馏分离脆硫铅锑精矿中闪锌矿的实验研究第64-71页

关键词: 闪锌矿；  脆硫铅锑精矿；  分离；  真空蒸馏；  

真空科学与技术学报杂志功能薄膜

脉冲激光沉积结合快速退火制备SnS薄膜及其表征第72-79页

关键词: sns薄膜；  脉冲激光沉积；  快速退火；  光学特性；  

真空科学与技术学报杂志结构薄膜

碳含量对NbVCN薄膜的微观结构、力学及摩擦磨损性能的影响第80-85页

关键词: nbvcn薄膜；  微观结构；  力学性能；  摩擦磨损性能；  

真空科学与技术学报杂志工艺设备

静电卡盘与晶圆之间的接触热阻研究第86-92页

关键词: 接触导热；  气体导热；  热阻；  静电卡盘；  晶圆；  稀薄气体；  影响因素；  

真空科学与技术学报杂志其他

高深宽比的TSV制作与填充技术第93-97页

关键词: 硅通孔；  icp刻蚀；  lpcvd；  重掺杂多晶硅；  高深宽比；  

全自动薄膜应力仪第98-102页

关键词: 薄膜应力测试仪；  应力测试；  剥层曲率半径法；  残余应力；