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真空科学与技术学报杂志

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主管单位:中国科学技术协会  主办单位:中国真空学会

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真空科学与技术学报 2016年第02期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志结构薄膜
PVD法制备的(Ti,Al)N硬质膜热稳定性研究第130-135页
关键词: 离子束辅助沉积;  差热分析;  热稳定性;  
退火处理对ZnO薄膜压敏性能的影响第141-145页
关键词: 无机非金属材料;  zno基陶瓷薄膜;  射频磁控溅射;  退火温度;  
溅射工艺参数对TiAlSiN涂层硬度及膜基结合力的影响第146-153页
关键词: tialsin涂层;  磁控溅射;  溅射工艺参数;  膜基结合力;  
真空科学与技术学报杂志真空冶炼
锡砷化合物真空热分解的从头算分子动力学模拟第159-167页
关键词: 从头算分子动力学;  晶体结构;  热分解;  砷分子;  
SnmAsn(m+n≤6)团簇的密度泛函理论研究第168-174页
关键词: 几何结构;  平均结合能;  偶极矩;  密度泛函理论;  
真空冶金法处理脆硫铅锑矿铅、锑、铁挥发控制条件的实验研究第175-179页
关键词: 脆硫铅锑矿;  真空冶金;  挥发;  
真空科学与技术学报杂志等离子体技术
大面积等离子体片分层现象的实验研究第180-185页
关键词: 线形空心阴极;  大面积等离子体片;  电子密度分布;  快帧;  
超音速电弧加热等离子发动机的数值研究第186-192页
关键词: 电弧加热发动机;  工作电流;  等离子体射流;  伏安特性;  数值研究;  
近β钛合金TLM表面双层辉光等离子渗氮及其腐蚀性能研究第193-198页
关键词: 双辉等离子渗氮;  电化学腐蚀;  人工模拟体液;  
真空科学与技术学报杂志真空技术与理论
动态气流下真空腔室内的压强分布及压差测量第199-203页
关键词: 真空腔室;  压强测量;  压差;  均匀布气;  
有尾排气式真空封装内部放气特性分析第204-208页
关键词: 真空封装;  内部放气;  残余气体分析;  真空标定;  
真空科学与技术学报杂志电子器件
95GHz回旋振荡管高效率准光模式变换器的设计与模拟第209-216页
关键词: 回旋管;  准光模式变换器;  denisov型辐射器;  耦合模理论;  
真空科学与技术学报杂志纳米技术
真空冷冻干燥法制备纳米铜粉的实验研究第217-222页
关键词: 纳米铜;  真空冷冻干燥;  冻结方式;  分散性;  
真空科学与技术学报杂志其他
空间电场探测球形传感器表面涂层光电特性研究第223-228页
关键词: 空间电场探测;  球形传感器;  涂层;  光电特性;  
卫星典型分子污染物吸附脱附试验研究第229-233页
关键词: 分子污染;  放气;  粘附系数;  邻苯二甲酸酯;  试验系统;  吸附;  脱附;