真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

真空科学与技术学报 2016年第05期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志功能薄膜

双层Nb掺杂TiO2薄膜的导电性研究第499-503页

关键词: 磁控溅射；  nb掺杂tio2薄膜；  双层膜；  电阻率；  

离子注入制备Al2O3阻氚涂层中氧元素分布的研究第504-509页

关键词: 离子注入；  氧元素分布；  加速电压；  剂量；  

原子层沉积低温制备高取向锐钛矿TiO2薄膜第510-514页

关键词: 原子层沉积；  低温；  tio2薄膜；  退火；  带隙；  

PIA-EB-Hf法制备的单层HfO2激光薄膜残余应力及化学计量比的调控第515-523页

关键词: 氧化铪；  等离子体辅助电子束蒸发；  激光损伤；  残余应力；  化学计量比；  

（111）晶面同质外延生长单晶金刚石的研究第524-528页

关键词: 单晶金刚石；  化学气相沉积；  同质外延；  斜面；  

微波化学气相沉积制备氧化铝薄膜及钝化性能研究第529-533页

关键词: 线性微波化学气相沉积；  氧化铝薄膜；  少子寿命；  微波功率；  温度；  

激光频率对激光溅射法制备多晶硅薄膜压阻特性的研究第534-537页

关键词: 脉冲激光溅射；  激光频率；  多晶硅薄膜；  应变系数；  晶粒尺寸；  

真空科学与技术学报杂志真空技术与理论

1.3 GHz 9-cell超导腔加速组元的真空系统第538-541页

关键词: 超导腔加速组元；  真空系统；  10级洁净腔；  蒙特卡洛实验粒子法；  流量控制；  

一种快速准确获取真空氦质谱检漏系统反应时间的方法研究第542-546页

关键词: 氦质谱检漏；  反应时间；  稳定时机；  最小二乘法；  

汽车零部件常压快速检漏系统的设计第547-550页

关键词: 泄漏检测；  汽车零部件；  常压快速检漏系统；  氦浓度传感器；  累积法；  

光弹性模型的真空浇注工艺第551-555页

关键词: 真空浇注；  光弹性法；  光弹性模型；  应力分析；  

真空科学与技术学报杂志电子器件

考虑电子注发射度的圆孔膜片透镜焦距第556-561页

关键词: 发射度；  圆孔膜片透镜；  阳孔透镜；  焦距；  

新型钙镁铝合金阴极对红光OLED性能的影响研究第562-566页

关键词: 钙镁铝合金；  阴极；  红光oled；  性能；  

微波管永磁聚焦系统三维有限元CAD技术第567-572页

关键词: 微波管；  永磁聚焦系统；  有限元方法；  非线性；  

真空科学与技术学报杂志结构薄膜

强流脉冲电子束辐照TiN薄膜表面形貌与性能研究第573-577页

关键词: 强流脉冲电子束；  tin薄膜；  表面粗糙度；  纳米硬度；  结合强度；