真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

真空科学与技术学报 2016年第08期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志功能薄膜

MgO表面的第一性原理研究第849-855页

关键词: 第一性原理；  表面结构；  二次电子发射；  激子光谱；  

原子层沉积铜薄膜研究进展第856-861页

关键词: 铜籽晶层；  原子层沉积；  低温；  等离子体；  

薄膜晶体管中高性能HfO_2的低温制备研究第862-865页

关键词: 氧化铪；  栅介质层；  电子束蒸镀；  退火；  薄膜晶体管；  

真空科学与技术学报杂志结构薄膜

铬（Cr）添加量对真空粉末熔覆镍铬-碳化铬（NiCr-Cr_3C_2）复合涂层微观组织的影响第866-872页

关键词: 真空粉末熔覆；  复合涂层；  高温合金；  微观组织；  

等离子喷涂含金刚石微粉的Cr2O3涂层干摩擦磨损性能研究第873-879页

关键词: 等离子喷涂；  复合涂层；  金刚石微粉；  摩擦磨损；  磨损机制；  

环氧树脂/二硫化钼纳米复合涂层的疏水及摩擦学性能研究第880-885页

关键词: 聚四氟腊；  疏水；  纳米复合涂层；  摩擦学性能；  

掺杂不同Mo含量对CrMoN薄膜摩擦磨损性能影响第886-890页

关键词: 多弧离子镀；  crmon复合薄膜；  摩擦磨损；  硬度；  

真空科学与技术学报杂志等离子体技术

离子推力器栅极力学性能模拟分析研究第891-897页

关键词: 离子推力器；  栅极；  力学分析；  随机振动；  冲击；  

极板类型及极性对容性耦合等离子体均匀性的影响第898-905页

关键词: 朗缪尔双探针；  圆孔刻槽极板；  极性电极；  等离子体均匀性；  点亮问题；  

基于波导耦合反应腔串联的线形微波等离子体源第906-909页

关键词: 线形微波等离子体；  等离子体诊断；  均匀性；  引导天线；  串联；  

超高速碰撞产生等离子体及其对逻辑芯片的干扰效应第910-916页

关键词: 超高速碰撞；  等离子体；  电磁干扰；  三探针；  逻辑芯片；  

真空科学与技术学报杂志真空冶炼

脆硫铅锑矿精矿真空蒸馏过程中元素分布规律的研究第917-922页

关键词: 分布；  脆硫铅锑矿精矿；  分离；  真空蒸馏；  

氮化铝真空氯化歧化法制备金属铝第923-928页

关键词: 氮化铝；  氯化歧化；  真空冶金；  铝；  

氮化铝真空热分解反应机理研究第929-934页

关键词: aln；  al；  真空热分解；  热力学；  动力学模拟；  

真空科学与技术学报杂志真空技术与理论

真空绝热板导热系数预测模型及实验研究第935-940页

关键词: 真空绝热板；  导热系数；  真空度；  数值分析及预测；