真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

真空科学与技术学报 2016年第12期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志电子器件

108GHz双注折叠波导行波管电子光学系统设计第1343-1348页

关键词: 多电子注；  太赫兹；  折叠波导；  行波管；  

太赫兹波段光子晶体矩形栅慢波结构的研究第1349-1355页

关键词: 太赫兹；  光子晶体；  矩形栅慢波结构；  色散特性；  耦合阻抗；  

真空间隙与CO2气体间隙串联的混合断路器电场仿真计算第1356-1362页

关键词: 真空间隙；  co2气体间隙；  混合断路器；  电位分布；  

基于图像亚像素真空开关分闸速度的检测第1363-1367页

关键词: 真空开关；  分闸速度；  边缘检测；  亚像素；  

真空科学与技术学报杂志功能薄膜

衬底温度对氢离子束辅助磁控溅射制备a-Si∶H薄膜结构特性的影响第1368-1372页

关键词: 离子束辅助溅射；  非晶硅薄膜；  结构性能；  衬底温度；  

靶材刻蚀对磁控溅射制备ZnO：Al薄膜性能空间分布的影响第1373-1380页

关键词: 靶材刻蚀；  azo薄膜；  氧负离子；  空间分布；  

真空科学与技术学报杂志结构薄膜

氮流量对孪生靶磁控溅射沉积氮化铬薄膜性能的影响第1381-1386页

关键词: 磁控溅射；  氮化铬薄膜；  氮流量比；  孪生靶；  

电弧离子镀AlCrN涂层结构和摩擦性能的研究第1387-1393页

关键词: 电弧离子镀；  alcrn涂层；  组织结构；  磨擦性能；  

真空科学与技术学报杂志真空技术与理论

四极质谱计在超导托卡马克装置上的应用第1394-1399页

关键词: 四极质谱计；  残余气体；  托卡马克；  检漏；  放电清洗；  

现场真空校准装置性能研究第1400-1406页

关键词: 现场校准；  压力衰减法；  直接比较；  计量特性；  

真空科学与技术学报杂志等离子体技术

气体-液体两相放电低温等离子体的光谱诊断第1407-1412页

关键词: 低温等离子体；  发射光谱；  电子密度；  stark展宽法；  

真空科学与技术学报杂志纳米技术

多周期InGaAs量子点点阵与点链形貌研究第1413-1417页

关键词: 量子点；  扫描隧道显微镜；  表面张力；  分子束外延；  

真空科学与技术学报杂志真空冶炼

真空感应冶炼炉炉料架桥原因分析及改善措施第1418-1421页

关键词: 真空感应炉；  炉料；  架桥分析；  预防措施；  

真空科学与技术学报杂志工艺设备

辅助阳极对高功率脉冲磁控溅射放电特性的影响第1422-1430页

关键词: 高功率脉冲磁控溅射；  辅助阳极；  离化率；  基体离子电流；  发射光谱；  

真空科学与技术学报杂志其他

用于激光阵列发生器的非n×n型Danmmann光栅研制第1431-1436页

关键词: 激光阵列发生器；  dammann光栅；  反应离子刻蚀技术；