真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

真空科学与技术学报 2017年第03期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志功能薄膜

不同结构Sm-Co/α-Fe薄膜体系磁性能的研究第245-249页

关键词: 微磁学模拟；  交换耦合；  矫顽力；  

大口径非球面镀膜均匀性分析与修正挡板设计第250-254页

关键词: 非球面；  光学薄膜；  膜厚均匀性；  修正挡板；  分布式挡板；  

氧含量对磁控溅射Nb掺杂TiO2薄膜结构与性能的影响第255-259页

关键词: 磁控溅射；  氧含量；  nto薄膜；  结构；  光电性能；  

径向磁轴承动态刚度系数及其耦合分析第260-265页

关键词: 12磁极径向磁轴承；  动态系数；  磁力线；  磁力矩；  耦合分析；  

Mo薄膜性质及对CIGS形貌和结构的影响第266-271页

关键词: mo薄膜；  磁控溅射；  铜铟镓硒；  太阳能电池；  

真空科学与技术学报杂志等离子体技术

低浓度氩气对金刚石薄膜的影响及机理研究第272-276页

关键词: 热丝化学气相沉积；  金刚石薄膜；  生长速率；  光谱诊断；  

等离子体阵列对电磁波反射的影响第277-280页

关键词: 等离子体；  反射；  极化方向；  电子密度；  

低气压下工频放电等离子体发展特性研究第281-285页

关键词: 低气压；  工频放电；  等离子体；  长间隙；  电子自由行程；  

Cl2/Ar/O2环境下使用光刻胶掩膜的感应耦合等离子体（ICP）刻蚀GaAs的研究第286-289页

关键词: gaas；  感应耦合等离子体刻蚀；  cl2；  o2；  刻蚀速率；  表面的粗糙度；  

高/低气压氩气感应耦合等离子体电磁波衰减效果建模研究及实验验证第290-297页

关键词: 感应耦合等离子体；  电磁波衰减；  流体模型；  时域有限差分方法；  

真空科学与技术学报杂志真空技术与理论

爪型干式真空泵的迷宫密封设计与研究第298-301页

关键词: 爪型干式真空泵；  迷宫密封；  

基于粘度影响的稀薄效应下壁面速度滑移的数学建模第302-308页

关键词: 稀薄效应；  速度滑移；  有效黏度；  分子碰撞；  牛顿摩擦；  

水压对磁流体水密封寿命的影响第309-312页

关键词: 磁流体；  水密封；  水压；  密封寿命；  

真空科学与技术学报杂志结构薄膜

不同载荷下干磨Cr2O3涂层中金刚石微粒的作用研究第313-319页

关键词: 金刚石微粒；  cr2o3喷涂层；  减摩性能；  磨损机理；  

超快激光加工的微结构界面对DLC薄膜磨损性能影响研究第320-326页

关键词: 微结构界面；  dlc薄膜；  结合强度；  耐磨性能；