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真空科学与技术学报杂志

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主管单位:中国科学技术协会  主办单位:中国真空学会

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真空科学与技术学报 2017年第08期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志真空技术与理论
涡轮分子泵入口接管束流效应的蒙特卡洛计算第753-759页
关键词: 涡轮分子泵;  分子密度分布;  蒙特卡洛法;  入口直接管;  自由分子流;  
超导铌材低温表面气体吸附实验研究第760-765页
关键词: 真空与低温;  低温吸附;  实验研究;  超导加速器;  
恒真空度锂电池注液模糊PID控制系统研究第766-771页
关键词: 锂电池注液系统;  恒真空度;  模糊pid控制;  simulink仿真;  
基于Tversky特征相似度的谱库检索算法第772-775页
关键词: 谱库检索;  特征相似度;  效率;  乘积运算;  
锆钒铁不同工作温度下吸氢性能的实验研究第776-780页
关键词: 锆钒铁;  定容法;  工作温度;  低温吸氢;  
外场中电子脉冲的离散自展宽特性第781-785页
关键词: 电子切片;  自展宽效应;  雪崩展宽;  准线性扩散;  
月球样品存储装置设计第786-790页
关键词: 月球样品;  存储装置;  流场;  仿真分析;  
变螺距螺杆真空泵转子温度场和热变形的有限元分析第791-795页
关键词: 变螺距;  螺杆真空泵;  温度场;  热变形;  
真空科学与技术学报杂志等离子体技术
磁控溅射中等离子体电离机制的数值解析第796-802页
关键词: 等离子体;  磁控溅射;  电离机制;  数值模拟;  
基于流体模型的波干涉电子密度诊断方法与应用第803-808页
关键词: 感应耦合等离子体;  诊断;  流体模型;  电子密度;  微波干涉;  
氢分子束流引入对ECR氢等离子体中离子特征的影响第809-814页
关键词: 氢等离子体;  离子特征;  碰撞过程;  电子回旋共振等离子体;  
真空科学与技术学报杂志电子器件
一种微型电磁式振动能量收集器的设计研究第815-820页
关键词: 微型能量收集器;  低频;  模态分析;  疲劳分析;  
沟道长度对碳纳米管薄膜晶体管阈值电压的调控作用第821-825页
关键词: 碳纳米管;  薄膜晶体管;  阈值电压;  沟道长度;  
真空科学与技术学报杂志功能薄膜
软硬磁层厚度对L1_0-FePt/Fe交换耦合双层膜磁性能的影响:模拟与实验第826-829页
关键词: 交换耦合;  矫顽力;  临界厚度;  
反应磁控溅射制备Ag/TiO2复合薄膜及其银离子释放速率研究第830-835页
关键词: 反应磁控溅射;  氧气流量;  银离子释放速率;