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真空科学与技术学报 2017年第12期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志真空技术与理论

SIMION中多物理场模拟方法的研究与对比第1129-1134页

关键词: 多物理场；  仿真方法；  simion；  hs；  sds；  

气体介质、压强及校准方法对真空漏孔漏率的影响第1135-1140页

关键词: 漏率；  校准；  定容法；  氦质谱检漏仪；  气体介质；  压强；  

模拟刚性正压漏孔的泄漏率与压力关系研究第1141-1145页

关键词: 泄漏检测；  氦质谱；  正压检漏；  正压漏孔；  

稻谷真空干燥动力学实验研究第1146-1152页

关键词: 真空干燥；  稻谷；  干燥动力学；  有效水分扩散系数；  活化能；  

真空科学与技术学报杂志功能薄膜

原子层沉积技术在纳米光子波导中的应用第1153-1159页

关键词: 原子层沉积；  纳米光子学；  槽波导；  条形波导；  环形谐振腔；  

奥斯瓦尔德熟化机制对Ag/TiO2复合薄膜中银离子释放速率的影响第1160-1165页

关键词: 反应磁控共溅射；  奥斯瓦尔德熟化；  银离子释放速率；  

L1_0-FePt/Fe交换耦合多层梯度膜的微磁学模拟第1166-1169页

关键词: 多层梯度膜；  微磁学模拟；  矫顽力；  钉扎场；  

不同温度对原子层沉积掺铝氧化锌薄膜性能的影响第1170-1176页

关键词: 温度；  原子层沉积；  掺铝氧化锌；  薄膜；  

真空科学与技术学报杂志等离子体技术

注氧位置对电弧加热等离子体发生器性能的影响第1177-1182页

关键词: 电弧加热等离子体发生器；  数值模拟；  气动热力学；  注氧位置；  

基于数值模拟的方式研究氩气-氢气等离子体射流物理特性第1183-1189页

关键词: 数值模拟；  物理特性；  流体动力学；  卷吸作用；  

磁流体径向本征函数的演化规律第1190-1193页

关键词: 径向本征函数；  增长率；  波数；  热压强；  

真空科学与技术学报杂志纳米技术

磁控溅射法制备柔性纺织面料基纳米薄膜的研究与进展第1194-1200页

关键词: 磁控溅射；  功能纺织品；  纳米；  薄膜；  

CuxCo3-xO4纳米颗粒的制备及其表面形貌表征第1201-1205页

关键词: 水热法；  纳米管；  纳米片；  扫描电镜；  

真空科学与技术学报杂志结构薄膜

磁过滤真空阴极电弧技术弧电流对四面体非晶碳薄膜性能的影响第1206-1211页

关键词: 弧电流；  磁过滤真空阴极电弧技术；  表面质量；  

真空科学与技术学报杂志电子器件

金属掺杂对Y2O3-Gd2O3-HfO2浸渍W基阴极次级电子发射的影响第1212-1216页

关键词: 直热式阴极；  大功率连续波磁控管；  金属掺杂；