真空科学与技术学报杂志北大期刊CSCD期刊统计源期刊

真空科学与技术学报 2004年第04期杂志 文档列表

真空科学与技术学报杂志学术论文

接触——纳电子器件的关键第241-244页

关键词: 金原子；  green函数；  量子化；  共振隧穿；  接触；  电学特性；  分子；  纳电子器件；  电压特性；  电导；  

真空科学与技术学报杂志信息

《真空科学与技术学报》杂志社电子信箱变更公告第244-244页

真空科学与技术学报杂志学术论文

Ge-SiO2与Si-SiO2薄膜中颗粒形成的对比研究第245-248页

关键词: sio2薄膜；  射频磁控溅射技术；  光电子能谱；  氧原子；  双离子束溅射；  颗粒；  溅射靶；  速率；  高温退火；  退火温度；  

基于二次电子发射的FED中支撑结构的优化设计第249-254页

关键词: 光点；  fed；  荧光粉；  场致发射显示器；  色纯；  对比度；  像素；  二次电子；  场强分布；  发光；  

直流辉光和磁控增强放电等离子体的空间分辨发射光谱技术第255-259页

关键词: 发射光谱；  直流辉光放电；  激发态原子；  激发温度；  类似；  行空间；  微波等离子体；  空间分辨；  光发射；  电子回旋共振；  

激光分子束外延SrTiO3薄膜退火过程中表面扩散的研究第260-262页

关键词: 表面扩散；  退火过程；  薄膜厚度；  rheed；  srtio3；  粒子；  振荡周期；  激光分子束外延；  反射高能电子衍射；  驰豫时间；  

低价硫化铝法从氧化铝直接炭还原制铝的动力学研究第263-266页

关键词: 扩散过程；  界面化学；  动力学过程；  还原；  活化能；  反应速率；  动力学研究；  氧化铝；  硫化；  挥发；  

反应溅射Ti-Si-N纳米晶复合薄膜的微结构与力学性能第267-270页

关键词: si3n4；  力学性能；  反应溅射；  纳米晶；  高硬度；  力学探针；  微结构；  界面相；  复合膜；  复合薄膜；  

真空科学与技术学报杂志综述评论

氟化类金刚石薄膜的研究进展第271-275页

关键词: 氟化类金刚石薄膜；  类金刚石膜；  表面改性材料；  气体；  性能；  制备工艺；  

真空科学与技术学报杂志技术交流

超S25和新S25光电阴极与景物反射光谱的光谱匹配系数第276-278页

关键词: 光电阴极；  微光夜视系统；  性能评估；  反射光谱；  景物；  表达式；  绿色；  系数；  粗糙；  参数；  

关于辅助沉积霍尔离子源的几个问题第279-282页

关键词: 光学镀膜；  离子束辅助镀膜；  等离子体加速器；  霍尔离子源；  

石英玻璃上生长表面光滑高光透射率的金刚石膜第283-288页

关键词: 衬底；  光透射；  生长工艺；  金刚石膜；  波段；  石英玻璃；  膜厚；  成核密度；  表面光滑；  热丝化学气相沉积；  

制备WO3电致变色薄膜的低压反应离子镀工艺研究第289-292页

关键词: 低压反应离子镀；  电致变色；  wo3薄膜；  电子束蒸发；  塑料基板；  镀膜；  氧分压；  变色范围；  氩气；  实验结果；  

PCVD在狭缝内壁沉积Ti-Si-N薄膜的研究第293-295页

关键词: 薄膜厚度；  狭缝；  等离子体辅助化学；  脉冲；  沉积；  物相分析；  元素；  pcvd；  显微硬度仪；  相组成；  

微波热处理在钛的硅化工艺中的应用第296-298页

关键词: 衬底；  金属硅化物；  微波等离子体；  退火；  溅射；  直接；  证明；  固相反应；  薄膜；